ফ্যাবে কার্বন কমানো: আইআর হিটিং কেন কার্যকর?
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন সম্পর্কে সত্যি কথা বলতে গেলে, এটা অত্যন্ত শক্তি-খরচী প্রক্রিয়া। ক্লিনরুমে তাপীয় প্রক্রিয়াগুলো পরিচালনা করার সময় শক্তি খরচ অত্যন্ত বেশি হয়; আর কার্বন নিঃসরণও আরও ভয়াবহ হয়।
আমরা বেশিরভাগই ঐতিহ্যবাহী কনভেকশন ওভেন বা রেজিস্টিভ হিটার ব্যবহার করি। কিন্তু তাপ পরিচালনার জন্য আরও ভালো উপায় রয়েছে—আইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প।
পুরানো ধরণের হিটারগুলোতে বাতাসকে উত্তপ্ত করা হয়; তারপর আশা করা হয় যে সেই উত্তপ্ত বাতাসটি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করবে। এটা অত্যন্ত অপচয়মূলক। আপনি আসলে শুধুমাত্র একটি ছোট্ট সিলিকন টুকরোকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় আনার জন্য পুরো ঘরটিকে উত্তপ্ত করছেন; আর তারপর HVAC সিস্টেমকে সেই তাপ কমানোর জন্য অতিরিক্ত পরিশ্রম করতে হয়। এটা অপচয়ের এক চক্র।
আইআর ল্যাম্পগুলো ভিন্ন। এগুলো ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক বিকিরণ ব্যবহার করে সরাসরি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে। কোনো মধ্যবর্তী উপাদান নেই; বাতাসকে উত্তপ্ত করার দরকারও নেই।
ফলাফল? আপনি অনেক দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছান। আর তাপ ছড়িয়ে যাওয়া বন্ধ হয়; শক্তিটি ঠিক সেখানেই ব্যবহৃত হয়।
অবশ্য, আপনি সরাসরি ফ্যাবে হিট ল্যাম্প রাখতে পারেন না। কণাগুলোই এখানে সমস্যা। সবকিছু নির্মল রাখার জন্য আমরা উচ্চ-গুণমানের কোয়ার্টজ কভার ব্যবহার করি। এতে গ্যাস নির্গমন বন্ধ হয় এবং দূষণ থেকে ওয়েফার রক্ষা পায়। আর এই ল্যাম্পগুলো ছোট আকারেই অনেক শক্তি উৎপন্ন করে। আপনি এগুলোকে ভ্যাকুয়াম চেঞ্বার বা ওয়েফার হ্যান্ডলিং টুলে সহজেই রাখতে পারেন।
কিন্তু আমি সত্যি কথাই বলতে চাই—এটা সব ক্ষেত্রেই কার্যকর নয়। আইআর ল্যাম্পগুলো তীব্র ও স্থানীয়ভাবে তাপ উৎপন্ন করে। যদি আপনি অত্যন্ত পাতলা ওয়েফার বা খুবই সংবেদনশীল উপাদান ব্যবহার করেন, তাহলে অন্যান্য অংশগুলো উত্তপ্ত হওয়ার আগেই ওয়েফারের পৃষ্ঠটি পুড়ে যেতে পারে। আপনাকে PID কন্ট্রোলার ও সেন্সরগুলোকে সঠিকভাবে সেট করতে হবে। নইলে আপনার ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
তবুও, “গ্রিন ফ্যাক্টরি” দৃষ্টিকোণ থেকে এটা অত্যন্ত উপকারী। যখন আপনি বড় আকারের ফোর্সড-এয়ার হিটারগুলোর উপর নির্ভর করা বন্ধ করেন, তখন আপনার কুলিং সিস্টেমগুলো স্বাচ্ছন্দ্যে কাজ করতে পারে। ঐতিহ্যবাহী হিটারগুলোর পরিবর্তে আইআর ল্যাম্প ব্যবহার করার ফলে Scope 2 নিঃসরণ উল্লেখযোগ্যভাবে কমে যায়।
এটা খুবই সহজ একটি পদক্ষেপ। আপনি আপনার কার্বন লক্ষ্যগুলো অর্জন করতে পারেন, শক্তি সাশ্রয় করতে পারেন; আর এর জন্য আপনাকে আপনার পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াটিকে ধ্বংস করার দরকারও নেই।