ফ্যাব ফ্লোরে, মাত্র অর্ধ ডিগ্রির মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনও ফটোরেজিস্টের সমানতা নষ্ট করে দেয়। এর ফলে উৎপাদন বন্ধ হয়ে যায়; উৎপাদন ক্ষমতাও কমে যায়। আমরা এই সমস্যা এড়াতে ওয়েফার ডিগ্যাসিং-এর জন্য ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই হিটারগুলোকে ±0.1°C এর মধ্যে স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় রাখার জন্য ডিজাইন করেছি। এছাড়া, দ্রুত তাপ সরবরাহের ব্যবস্থা রয়েছে; ফলে ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে। ইনফ্রারেড রশ্মি দ্রুত এবং সরাসরি শক্তি সরবরাহ করে; আর চেম্বারটি ক্লাস 1–100 মানের ক্লিনরুম-সংগত, ফলে বেকিং/ডিগ্যাসিংয়ের সময় কোনো ধূলিকণা তৈরি হয় না। প্রতিবার বেকিং করার সময় তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে; ফলে পরিবেশগত পরিবর্তন বা ব্যাচের পরিবর্তনের কারণে কোনো সমস্যা হয় না।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব কী?
লিথোগ্রাফির ক্ষেত্রে এই স্থিতিশীলতা মানে হলো ভালো মানের বেকিং প্রক্রিয়া, ভালো সিডি নিয়ন্ত্রণ, এবং কম রিওয়ার্ক। দ্রুত ইনফ্রারেড প্রতিক্রিয়ার কারণে বেকিংয়ের সময় কমে যায়; ফলে সামগ্রিক উৎপাদন সময়ও কমে যায়। এছাড়া, তাপ চাহিদা অনুযায়ী সরবরাহ হয়; ফলে অতিরিক্ত তাপ থাকে না। হার্ডওয়্যারটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার সমস্যা হয় না।
কী পরিকল্পনা করা দরকার?
এই হিটারগুলো সহজেই ইন্টিগ্রেট করা যায়; কিন্তু এগুলোর জন্য স্থিতিশীল ভোল্টেজ ও ঠান্ডাকরণ ব্যবস্থা প্রয়োজন। রেজিস্ট স্ট্যাক ও সাবস্ট্রেট স্ট্যাকের জন্য র্যাম্প প্রোফাইল সেট করতে সামান্য সময় লাগবে। একবার এটা ঠিক হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে—এমনকি যখন ব্যাচের পরিমাণ বাড়ে।