Přemýšlejte o tom, jak funguje horký vzduch. Nejprve je potřeba vzduch zahřát, a poté čekat, dokud tento vzduch neohřeje váš pracovní kus. Ve světě zpracování polovodičů je toto čekání velkou překážkou – je to prostě ztráta času, která snižuje efektivitu práce.
Proto používáme emitory infračerveného záření. Místo toho, abychom manipulovali s vzduchem, působí infračervené záření přímo na cíl. Je to tedy efektivnější způsob. Právě proto se tolik vysokopřesných zařízení přechází na tento způsob.
Tajemství spočívá v keramickém krytu.
Emitor infračerveného záření je tak dobrý, jak je dobré místo jeho spojení. Používáme keramické kryty, aby došlo k správnému spojení mezi topným prvkem a elektrickými vodivy. Proč keramika? Protože se nekroutí ani neroztéká, i když teploty dosahují extrémních hodnot.
V podstatě slouží jako bariéra. Bez pevného keramického krytu se teplo vrátí zpět do vedení. Jakmile k tomu dojde, izolace selže a najednou máte problémy s neplánovanými přestávkami v provozu. To nikdo nechce.
Přechod z použití forced airu na infračervené záření není tak jednoduchý, jak se může zdát. Jedná se o obrovský skok v hustotě tepla. Teploty se mohou rychle zvyšovat, ale tato intenzita klade velký nátlak na hardware. Keramický kryt zajišťuje, že křemíková trubice zůstane uzavřena a elektrický kontakt stabilní, i když teploty prudce kolísají.
Je potřeba mít na paměti jednu věc: poloha emitora je důležitá. Musíte být přesní v jeho umístění. Pokud jsou upevňovací pruty i jen trochu mimo správnou polohu, vzniknou na vašem pracovním kusu chladné místa.
Skutečný výhoda? Čas.
Nejlepší věcí je to, kolik času ušetříte. Nemusíte sedět a čekat, dokud komora nedosáhne stabilní teploty. Stačí aktivovat emitor – energie se okamžitě přenese a můžete pokračovat v práci.
To zvyšuje počet waferů za hodinu. Jen pozor: ujistěte se, že váš chladicí systém dokáže zvládnout teplo odrážející se od pracovního kusu. Jinak byste mohli omylem poškodit senzory.