V prostředí litografie se rychle naučíte, že teplota není jen detail – je to jádro celého procesu. I malá odchylka o jeden stupeň může způsobit problémy při kontrole kritických rozměrů. Pokud použijete vyšší teplotu při zpracování materiálu, vzniknou problémy v podobě nežádoucích útvarů na okrajích povrchu – to jsou obvyklé příčiny ztrát a nutnosti oprav. V zařízeních na nanášení a odstraňování fotorezistentů není tepelná efektivita jen prostředek pro pohodlí – je to základní funkce tohoto zařízení.
Co je technicky důležité Náš infračervený ohřívač byl navržen tak, aby odpovídal tepelným požadavkům moderních fotorezistentů. Částice krátkovlnného infračerveného záření přenášejí teplo přímo do fotorezistentu, takže proces probíhá rychle, aniž by došlo k nadměrnému zatížení destičky v horkých oblastech. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na celé ploše destičky v rozmezí ±0,1 °C. Repetitibilita je tak vysoká, že nastavené hodnoty zůstávají konstantní i po tisících cyklech.
Systém je kompatibilní s čistými místnostmi od třídy 1 do třídy 100. Jeho architektura je navržena tak, aby se zabránilo vniknutí částic na povrch destičky. Materiály bez výdeje plynu a uzavřená konstrukce ohřívače zabraňují kontaminaci během procesu. V praxi to znamená spolehlivost 24/7 bez plánovaných výpadků, a nízkou spotřebu energie – ohřívač se totiž rychle vrátí do normálu mezi jednotlivými cykly.
Proč to tady funguje V provozních zařízeních na nanášení a odstraňování fotorezistentů musí teplota odpovídat specifikacím procesu, ne teplotě v místnosti. Díky tomuto infračervenému ohřívači zůstává profil teploty stabilní, takže rovnoměrnost kritických rozměrů zůstává vysoká a nežádoucí útvary na okrajích jsou pod kontrolou. Díky tomu dosahujeme kratších doby procesu, bez ztráty kvality výrobku. Méně je také potřeba údržby – tělo ohřívače zůstává chladné, zatímco energia se dostává tam, kam má – do fotorezistentu.
Otevírají se tak možnosti pro další procesy, snižuje se množství odpadu a kalibrace probíhají hladce, protože profily teplot jsou reprodukovatelné. Žádné překvapení – vždy stejný profil u každé série výrobků.
Co je potřeba vědět Ohřívač lze instalovat do většiny zařízení na nanášení a odstraňování fotorezistentů, ale rozměry a způsob montáže se liší v závislosti na modelu zařízení. Před instalací zkontrolujte mechanické mezery a cesty pro chladicí kapalinu. Po instalaci proveďte krátkou kalibraci.
Pokud pracujete v vlhkém prostředí, věnujte pozornost utěsnění konektorů. Poskytujeme pokyny k použití těsnění, aby elektrické spojení zůstalo suché a stabilní.