Přestaňte zahřívat stěny: Lepší způsob sušení v zařízeních na sušení polovodičů
Pokud jste někdy strávili čas v blízkosti zařízení na sušení polovodičů, víte, jaké problémy mohou vzniknout kvůli „horkým stěnám“. Když používáte běžné konvekční ohřívače, které vysílají energii do všech směrů, vnitřní stěny zařízení fungují v podstatě jako obrovská houba na zachycování tepla.
Je to chaos – operátoři se obávají popálenin a neustále se strachují, zda nadbytečné teplo nezkresluje vnitřní komponenty zařízení. Je to plýtvání energií a také problém z hlediska bezpečnosti.
Řešení je vlastně docela jednoduché: přestaňte všechno zahřívat a začněte používat směrové infračervené záření.
Jak to vlastně funguje
Vzpomeňte si na běžný ohřívač – ten vysílá energii do všech směrů. V úzké komoře na sušení většina tohoto tepla minuje wafer úplně a prostě dopadne na rámeček zařízení.
My to děláme jinak – používáme lampy s krátkovlnným infračerveným zářením a zrcadly potaženými zlatem. Místo chaotického vypouštění tepla se jedná spíše o paprsek světla. Užíváme seřízený úhel a posíláme fotony přímo na povrch substrátu.
Výsledek? Teplo přichází přesně tam, kam má. Stěny zůstávají chladné, protože nejsou používány jako zdroj tepla.
Bezpečnost a „nevýhody“
Jelikož je teplo zaměřeno, povrch zařízení nezesílí. Nemusíte používat velké chladicí systémy a těžkou izolaci – povrch zařízení zůstává dostatečně chladný na dotek.
Ale je tu jeden problém: musíte být přesní. Jelikož tyto lampy vyzařují velmi intenzivní teplo, teplota v bodě fokusu je extrémní. Pokud je vaše wafer o několik milimetrů mimo správnou pozici, dojde k lokálnímu přehřátí. Nemůžete prostě „nastavit a zapomenout“ – váš PLC musí být perfektně nastavený, abyste zabránili poškození substrátu.
Proč je to důležité pro vaše zařízení
Když přestanete zahřívat stěny, dojde k několika změnám. Za prvé, váš systém HVAC nemusí pracovat tak intenzivně, aby udržel místnost v přijatelné teplotě. Navíc se doba nastartování zařízení výrazně zkrátí. Nemusíte čekat, až se celá komora nahřeje, než můžete začít proces sušení.
Dostanete tak rychlejší proces, chladnější zařízení a mnohem méně stresu.