Auf einer Linie mit einer Länge von 300 mm reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad Celsius während des Trocknungsprozesses aus, um zu erheblichen Fehlern in den maßgeblichen Dimensionen zu führen – und somit ganze Chargen von Produkten unbrauchbar zu machen. Deshalb haben wir einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren entwickelt, der das thermische Verhalten im Laufe mehrerer Produktionsschritte konstant hält – ohne Ausnahmen.
Was wirklich wichtig ist: Der Heizer arbeitet mit Kohlenstoffnanoröhren als Wärmequellen, wodurch er schnell reagieren kann und eine stabile Temperatur erzielt. Dadurch wird eine Homogenität auf Waferniveau von ±0,1 °C erreicht – und auch die Wiederholgenauigkeit bleibt hoch. Das sorgt dafür, dass die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant bleiben, unabhängig von der Charge.
Durch die Konstruktion entstehen praktisch keine Partikel – was für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet ist. Zudem wurden Materialien gewählt, die selbst bei kontinuierlichen Trocknungszyklen eine geringe Gasemission garantieren. Im Alltag bedeutet das weniger Defekte, bessere Kontrolle über die Maße sowie eine verlässliche Temperaturregelung.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: In der Lithografie und beim Verarbeiten von Fotoresisten ist das thermische Verhalten kein „Hintergrundfaktor“ – es ist vielmehr ein zentraler Bestandteil des Prozesses. Der Heizer sorgt dafür, dass Breite der Linien, Winkel der Seitenwände sowie Dicke des übrigen Films stets innerhalb der Spezifikationen bleiben. So werden gute Wafer nicht verschwendet, sondern können weiterverarbeitet werden.
Der Heizer kann 24/7 ohne Unterbrechungen betrieben werden. Feldmessungen zeigen keine messbaren Abweichungen über lange Zeitspannen – genau das erfordern die Anforderungen der Massenproduktion. Da der Heizer schnell reagiert, verringert sich die Zeit, in der er untätig ist – und dadurch sinken auch die Betriebskosten pro Wafer.
Was Sie tun müssen: Die Integration des Heizers ist einfach. Allerdings haben die Kohlenstoffnanoröhren strenge Temperaturgrenzen sowie begrenzte Steigerungsraten. Sie müssen daher die thermische Masse des Heizers berücksichtigen und den Controller so einstellen, dass eine optimale Homogenität erreicht wird.
Planen Sie eine kurze Erprobungsphase, um die PID-Einstellungen zu justieren und die Übereinstimmung der Temperaturen in allen Prozessmodi zu überprüfen.