Denken Sie darüber nach, wie heiße Luft funktioniert. Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend muss man warten, bis diese Luft das Werkstück erwärmt hat. In der Welt der Halbleiterverarbeitung ist dieses Warten ein echtes Problem – es handelt sich dabei um verschwendete Zeit, die die Produktivität beeinträchtigt.
Deshalb verwenden wir IR-Strahler. Anstatt mit der Luft zu hantieren, trifft die Strahlung direkt auf das Zielobjekt. Das ist ein effizienterer Ansatz. Genau deshalb wechseln immer mehr Hochpräzisionsanlagen auf diese Technologie.
Das Geheimnis liegt in den keramischen Endkappen.
Ein IR-Strahler ist nur so gut wie die Stelle, an der er angeschlossen ist. Wir nutzen keramische Endkappen, um die Verbindung zwischen dem Heizelement und den elektrischen Leitungen zu gewährleisten. Warum Keramik? Weil sie bei extrem hohen Temperaturen nicht verformt oder schmilzt. Sie fungiert im Grunde als „Wand“, die verhindert, dass die Wärme zurück in die Leitungen fließt. Ohne eine solche Keramikkappe würde die Isolierung versagen – und plötzlich hätte man mit unplanmäßigen Stillständen zu kämpfen. Das will niemand.
Der Wechsel von mechanischer Belüftung zu IR-Technologie ist nicht so einfach, wie man denken könnte. Es kommt zu einem enormen Anstieg der Wärmestärke. Dadurch können die Temperaturen viel schneller erreicht werden – doch diese hohe Intensität belastet die Hardware stark. Die Keramikkappe sorgt dafür, dass die Quarztube dicht bleibt und die elektrischen Kontakte stabil bleiben, auch bei stark schwankenden Temperaturen.
Eines sollte man beachten: Die Positionierung ist entscheidend. Wenn die Befestigungsbügel auch nur leicht falsch positioniert sind, entstehen kältebedingte Bereiche auf dem Wafer.
Der eigentliche Vorteil? Die Zeitersparnis.
Der größte Vorteil ist, dass man nicht mehr warten muss, bis die Kammer eine konstante Temperatur erreicht hat. Man aktiviert einfach den Strahler – die Energie wird sofort übertragen, und man kann weiterarbeiten. Dadurch steigt die Anzahl der pro Stunde verarbeiteten Wafer erheblich. Achten Sie jedoch darauf, dass Ihr Kühlsystem in der Lage ist, die vom Werkstück reflektierte Wärme zu bewältigen. Andernfalls könnten die Sensoren beschädigt werden.