In den Fertigungsanlagen ist die Leistung des Fotolacks bei der Erhitzung unbestreitbar – sie wird in Nanometern gemessen. Eine Abweichung von 0,5 °C kann bereits dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen beeinträchtigt wird – und das bedeutet viele verlorene Wafer. Der Quarzglas-Schutz auf den Lampen dient dazu, solche Abweichungen bereits im Vorfeld zu verhindern.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden hochreinen Quarz für diesen Schutz, denn er gewährleistet eine stabile Lichtübertragung im Kurz- und Mittelwellenbereich des Infrarots. Zudem dehnt sich der Quarz nicht stark unter schnellen Temperaturwechseln aus. Dadurch lässt sich die Wafererhitzung wiederholgen – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C über das gesamte Belichtungsfeld hinweg. So bleiben die Parameter für die Weich- und Härterhitzung von Charge zu Charge konstant. In Reinräumen der Klasse 1–100 ist das Material sowie die Konstruktion des Schutzes so gestaltet, dass keine Partikel entstehen – dadurch bleiben Fehler auf den Wafern aus und es werden keine Probleme bei der Ausbeute berichtet.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
In den Lithografieanlagen hängt alles vom Kontrollieren der thermischen Bedingungen ab. Der Schutz sorgt dafür, dass die Leistung der Lampen konstant bleibt, Hotspots vermieden werden und Prozessabfälle nicht die Lampe beeinträchtigen. Dadurch wird dieselbe Energiemenge für die Erhitzung bereitgestellt. Das Ergebnis sind weniger Nachbearbeitungen, weniger Ausschuss und weniger unerwartete Störungen während der Produktion. Zudem wird Energie eingespart, da die Wärme dort bleibt, wo sie hingehört. Dadurch erhöht sich die Lebensdauer der Lampen und es lassen sich vorhersehbare Austauschintervalle festlegen – ohne Notfälle mitten in der Nacht.
Was man beachten muss:
Die Installation ist einfach, doch die Ausrichtung muss präzise erfolgen. Der Schutz muss exakt an den vorgegebenen Punkt angebracht werden – jede kleine Unebenheit kann zu Problemen führen. Das Betriebsfenster ist groß, doch der Schutz darf nicht direktem Kontakt mit Lösungsmitteln während der Reinigung ausgesetzt werden. Halten Sie sich an den empfohlenen Trockenreinigungsprozess und führen Sie regelmäßige Wartungsarbeiten durch – so bleibt die Leistung erhalten und die Anforderungen der Reinräume werden erfüllt.