Auf der Produktionsfläche kann bereits eine leichte Temperaturabweichung von halbem Grad dazu führen, dass die Homogenität des Fotorezessts gestört wird. Dadurch kommt die Produktion zum Stillstand – die Ausbeute nimmt ab. Wir haben Infrarotheizer entwickelt, um diese Temperaturabweichungen bereits vor ihrem Auftreten zu verhindern.
Was wirklich wichtig ist
Wir konzipieren diese Heizer so, dass eine konstante Temperatur von ±0,1 °C über die gesamte Fläche gewährleistet wird. Zudem ermöglicht die schnelle Steuerung, dass es zu keinen überschüssigen Temperaturspitzen kommt. Die Strahler nutzen kurzwelliges Infrarotlicht, um Energie in schnellen, direkten Impulsen abzugeben. Der Behälter ist außerdem für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – dadurch wird während des Trocknungs- und Entgasungsprozesses eine Partikelbildung vermieden. Die Temperaturgenauigkeit bleibt von Cycle zu Cycle konstant – somit ändern sich die kritischen Parameter während Schwankungen der Umgebungstemperatur oder bei Veränderungen in der Materialzusammensetzung nicht.
Warum das in der Lithografie wichtig ist
In der Lithografie bedeutet diese Konstanz eine bessere Kontrolle über den Trocknungsprozess sowie eine geringere Anzahl an Rückarbeitsschritten. Die schnelle Reaktion der Infrarotheizer verkürzt die Trocknungszeit – dadurch kann die Gesamtproduktionszeit reduziert werden, ohne dass dabei die Lösungsmittel vollständig entfernt werden oder die Randbedingungen aus dem Gleichgewicht geraten. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme nur dann freigesetzt wird, wenn sie benötigt wird – anstatt in großen Mengen gespeichert zu werden. Die Ausrüstung ist dafür ausgelegt, rund um die Uhr zu arbeiten, mit vorhersehbaren Wartungsintervallen – dadurch werden unplanmäßige Stopps in der Produktion vermieden.
Was Sie berücksichtigen müssen
Diese Heizer lassen sich problemlos integrieren – doch sie benötigen eine stabile Spannung sowie eine Kühlung, die zum jeweiligen Betriebszyklus passt. Bereiten Sie sich auf eine kurze Einrichtungsphase vor, um den richtigen Betriebspfad für Ihren Fotorezist- und Substratstapel einzustellen. Sobald alles eingestellt ist, bleibt die Prozessgenauigkeit konstant – auch dann, wenn Sie die Produktionsgeschwindigkeit erhöhen.