Hören Sie auf, Ihre Werkzeuge zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer. Wenn Sie ein Wafer erhitzen, möchten Sie, dass die Energie direkt...

In der Fertigungsstraße reicht bereits eine Abweichung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs aus, um latente Defekte direkt in den Photoresist zu...