در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که دما یک جزئیات کوچک نیست؛ بلکه خودش بخش اصلی فرآیند است. اگر دمای حرارتی حتی یک درجه تغییر کند، کنترل ابعاد مهم قطعات مختل شده و منجر به ایجاد مشکلاتی میشود. اگر دمای حرارتی را در لبهها بالاتر نگه داریم، با مشکلاتی مانند وجود لکهها و گلولههایی در لبههای قطعات روبرو خواهیم شد؛ این مشکلات معمولاً باعث افزایش هزینههای بازسازی قطعات میشوند. در دستگاههای پوشاننده/توسعهدهنده، عملکرد حرارتی یک ویژگی راحتی نیست؛ بلکه بخش اصلی کار است.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟
ما گرمکنهای مادون قرمز مورد استفاده در دستگاههای پوشاننده/توسعهدهنده را طوری طراحی کردهایم که با توان حرارتی مورد نیاز فوتورزیستهای پیشرفته سازگار باشد. اجزای مادون قرمز، حرارت را مستقیماً به فوتورزیست منتقل میکنند؛ بنابراین فرآیند حرارتدادن سریع انجام میشود، بدون اینکه فشار حرارتی بر روی ویفر اعمال شود. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز بالا بوده و مقدار دمای مورد نیاز در هزاران چرخه حفظ میشود.
این سیستم با فضاهای پاک از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، ساختار این سیستم به گونهای طراحی شده که تعداد ذرات موجود روی ویفر کم باشد. عدم وجود مواد گازی و بدنه گرمکنی که در برابر نفوذ ذرات محافظت میکند، باعث میشود که فرآیند حرارتدادن بدون مشکل انجام شود. در واقع، این سیستم امکان کار ۲۴/۷ بدون توقفات غیرمنتظره را فراهم میکند؛ همچنین، مصرف انرژی نیز کم است، زیرا گرمکن به سرعت بین چرخههای مختلف بازیابی میشود.
چرا این سیستم مؤثر است؟
در دستگاههای پوشاننده/توسعهدهنده، دما باید مطابق با دستورالعملهای مشخص شده باشد؛ نه مطابق با دمای اتاق. با استفاده از این گرمکن مادون قرمز، پروفایل حرارتی ثابت باقی میماند؛ بنابراین، یکنواختی ابعاد مهم قطعات حفظ میشود و مشکلات مربوط به لبههای قطعات نیز کنترل میشود. در نتیجه، زمان لازم برای انجام فرآیند کاهش مییابد، بدون اینکه بر روی بازدهی تأثیر منفی داشته باشد؛ همچنین، تعمیرات نیز کمتر انجام میشود، زیرا بدنه گرمکن در حالت خنک باقی میماند و انرژی نیز در جای مناسب خود، یعنی در فوتورزیست، مصرف میشود.
نکاتی که باید بدانید:
این گرمکن میتواند در اکثر دستگاههای پوشاننده/توسعهدهنده استفاده شود؛ اما ابعاد و نحوه نصب آن بسته به مدل دستگاه متفاوت است. قبل از نصب، حتماً فاصلههای مکانیکی و مسیرهای خنککننده را بررسی کنید؛ همچنین، پس از نصب، یک آزمایش کوتاه برای بررسی عملکرد سیستم انجام دهید.
اگر در محیطهای مرطوب کار میکنید، به محافظت اتصالات دقت کنید. ما راهنماییهایی برای حفظ خشکی و پایداری رابط الکتریکی ارائه میدهیم.