در کارخانههای تولید، عملکرد فرآیند پختن فیلم حاوی ماده فوتورزیست، قابل بحث نیست؛ این عملکرد با واحد نانومتر اندازهگیری میشود. هرگونه تغییر دمایی حتی ۰.۵ درجه سانتیگراد، میتواند کنترل ابعاد مهم محصول را مختل کند؛ این امر منجر به از دست رفتن تعداد زیادی از ویفرها میشود. سپر شیشهای کوارتزی موجود روی لامپها، جلوی این تغییرات دمایی را میگیرد.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت این سپر استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده امکان انتقال نور در طول موجهای کوتاه و متوسط را فراهم میکند، و در شرایط چرخههای حرارتی سریع، تغییرات چندانی نمیکند. این امر باعث میشود که گرمایش ویفرها به صورت یکنواخت انجام شود و دقت گرمایش در سراسر ناحیه تحت تأثیر قرار نگیرد؛ در نتیجه، فرآیندهای پختن ویفرها در هر بار تکرار، یکنواخت خواهد بود. در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰، مواد و ساختار اتصالات این سپر، به گونهای طراحی شدهاند که هیچ ذرهای در اطراف آن تولید نشود؛ این امر باعث کاهش تعداد نقصهای وجود در ویفرها میشود.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است: فرآیندهای لیتوگرافی به کنترل دما وابسته هستند؛ این سپر، خروجی لامپ را پایدار نگه میدارد، نقاط داغ را کاهش میدهد، و مواد جانبی ناشی از فرآیند را از اطراف لامپ دور نگه میدارد؛ در نتیجه، همان تنظیمات، همان میزان انرژی را تأمین میکنند. این امر منجر به کاهش تعداد کارهای تکراری، کاهش مواد بازیافتی، و کاهش مشکلات ناشی از توقف فرآیند میشود؛ علاوه بر این، انرژی نیز هدر نمیرود، زیرا گرما در جای مناسب خود باقی میماند. این امر باعث افزایش طول عمر لامپ و تعیین زمانهای تعویض مناسب برای آن میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت: نصب این سپر ساده است، اما تنظیم آن بسیار دقیق است؛ سپر باید در محل مشخص شده قرار گیرد، بدون هیچ تغییری؛ حتی کوچکترین انحراف میتواند باعث ایجاد سایهها و کاهش یکنواختی گرمایش شود. بازه کاری این سپر گسترده است، اما این سپر برای تماس مستقیم با مواد حلکننده در حین تمیزکاری مناسب نیست؛ بنابراین باید از روشهای تمیزکاری خشک استفاده کرد و به نگهداریهای پیشگیرانه توجه کرد؛ این کار باعث حفظ عملکرد خوب سپر و رعایت استانداردهای اتاقهای تمیز میشود.