چگونه میتوانید گرمای بیشتری از لامپهای شستشوی ویفرها به دست آورید؟
اگر تاکنون با لامپهای مادون قرمز ضدآب در مرحله شستشوی ویفرها کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. شما نه تنها سعی دارید یک سطح را گرم کنید، بلکه در واقع با مایع شستشویی که سعی دارد همه چیز را خنک کند، مبارزه میکنید.
مشکل واقعی چیست؟ اتلاف انرژی. گرمای زیادی به جای رسیدن به ویفر، وارد بدنه ماشین میشود. به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
میتوانید یک منعکسکننده آلومینیومی معمولی را مانند یک سطل نشتی در نظر بگیرید؛ چرا که آن نور مادون قرمز زیادی را جذب میکند. اما طلا متفاوت است؛ آن مانند یک آینه با کیفیت بالا عمل میکند.
در عوض اینکه لامپ انرژی را به همه جهات پرتاب کند، لایه طلا فوتونها را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند. این یک تغییر ساده است، اما به این معناست که تقریباً هر وات انرژی که خرج میکنید، واقعاً کار خود را انجام میدهد.
مشکلات مربوط به دستگاههای ضدآب
این لامپها برای کار در محیطهای مرطوب طراحی شدهاند؛ اما وقتی که انرژی زیادی در یک پرتو متمرکز شود، دما به سرعت افزایش مییابد. بنابراین باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه قادر به مقابله با این گرما باشد. اگر بدنه دستگاه نتواند گرمای اضافی را دفع کند، فلزات گسترش مییابند؛ و در نتیجه نقطه تمرکز پرتو تغییر میکند و گرمایش در جای مناسب اتفاق نخواهد افتاد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
طلا باعث میشود انتقال گرما بسیار کارآمدتر شود، اما کمی حساس است؛ آن از آلودگیها متنفر است. حتی یک لایه کوچک از باقیماندههای شیمیایی یا گرد و غبار روی سطح طلا، باعث کاهش بازتاب نور میشود. شما تقریباً بلافاصله متوجه کاهش دمای ویفر خواهید شد. راه حل ساده است: باید به طور منظم دستگاه را تمیز کنید و اجازه ندهید گرد و غبار روی سطح طلا تجمع کند.
یک نکته دیگر: اگر قصد استفاده از این لامپها در خطوط تولید قدیمی را دارید، حتماً منبع تغذیه دستگاه را بررسی کنید. چون چگالی انرژی بسیار بالاست، تنظیم ولتاژ باید دقیق باشد. اگر ولتاژ ناپایدار باشد، فیلامنتها خیلی سریع خراب خواهند شد.