Pensez à le fonctionnement de l’air chaud : il faut d’abord chauffer l’air, puis attendre que cet air chauffe l’objet à traiter. Dans le domaine du traitement des semi-conducteurs, cet attendant est vraiment un problème : c’est simplement du temps perdu qui affecte la productivité.
C’est pourquoi nous utilisons des émetteurs infrarouges. Au lieu de manipuler l’air, la chaleur rayonnée atteint directement l’objet à traiter. C’est beaucoup plus efficace. C’est précisément pour cela que de nombreuses usines de haute précision optent pour cette solution.
Le secret réside dans les couvercles en céramique.
L’efficacité d’un émetteur infrarouge dépend entièrement du point où il se connecte. Nous utilisons des couvercles en céramique pour assurer une transition propre entre l’élément chauffant et les fils électriques. Pourquoi de la céramique ? Parce qu’elle ne se déforme ni ne fond même lorsque les températures deviennent extrêmement élevées.
En somme, elle agit comme un mur qui empêche la chaleur de retourner vers les fils électriques. Sans ce couvercle en céramique, la chaleur pourrait endommager les circuits électriques. Personne ne veut ça.
Passer de l’air forcé aux émetteurs infrarouges n’est pas si simple que ça. Il y a un grand changement en termes de densité thermique. Les températures peuvent être atteintes beaucoup plus rapidement, mais cette intensité exerce une grande pression sur l’équipement. Le couvercle en céramique permet de conserver le tube en quartz hermétique et de maintenir des contacts électriques stables, même lorsque les températures varient considérablement.
Une chose à retenir : l’emplacement est crucial. Il faut être très précis dans la pose des éléments. Si les supports de fixation ne sont pas bien positionnés, il y aura des zones froides sur la wafer.
Le vrai avantage ? Le temps gagné.
Le meilleur aspect, c’est le temps que l’on peut économiser. On n’a plus besoin d’attendre que la chambre atteigne une température stable. En activant l’émetteur, l’énergie est transférée instantanément, et on peut continuer à travailler.
Cela permet d’augmenter considérablement le nombre de wafers traités par heure. Un conseil : assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer la chaleur générée par l’objet à traiter. Sinon, vous risquez de endommager vos capteurs.