Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans vos systèmes de chauffage des wafers
Le problème avec les chauffages infrarouges standards, c’est qu’ils laissent s’échapper une grande quantité d’énergie. Une bonne partie de l’énergie est perdue, sans servir à rien. Dans le traitement des semi-conducteurs, ce genre de gaspillage est un vrai cauchemar.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Cela peut sembler sophistiqué, mais l’objectif est simple : nous voulons que chaque watt d’énergie atteigne directement le wafer, et non les parois de la machine.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens utilisent de l’aluminium. C’est moins cher, certes. Mais l’aluminium a tendance à absorber trop d’énergie dans le spectre infrarouge à longues longueurs d’onde. L’or, lui, reflète plus de 98 % de cette énergie. En revêtant la cavité du chauffage d’or, les zones où la chaleur s’échappe disparaissent. L’énergie est donc concentrée sur le wafer. Résultat : vous obtenez les températures désirées, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de l’alimentation électrique.
Diriger la chaleur là où elle doit être
Lorsque vous configurez un système de chauffage pour les wafers, vous cherchez avant tout à obtenir une chaleur uniforme. Vous voulez que la chaleur soit distribuée de manière égale, et rapidement. Les réflecteurs en or permettent de concentrer le faisceau de chaleur. Ainsi, l’énergie est dirigée précisément vers le substrat. De plus, cela permet de maintenir les autres parties de la machine à une température plus basse, ce qui réduit la pression sur les composants électriques.
Les limites
L’or n’est pas invulnérable. Il s’agit d’une fine couche. Si vous travaillez avec des gaz corrosifs ou des particules abrasives, cette couche peut se rayurer ou se détacher. Une fois endommagée, la capacité de réflexion de l’or diminue, ce qui entraîne une augmentation de la consommation d’électricité. Il est donc important de maintenir les joints hermétiques de la chambre sous contrôle, afin que la poussière ne puisse pas atteindre l’or.
Conseils pratiques pour les ateliers
Si vous passez à des réflecteurs recouverts d’or, vous pouvez réduire la puissance utilisée, tout en maintenant un rendement identique. Cela soulage considérablement les systèmes électriques. Et si vous constatez que le chauffage du wafer de 300 mm n’est pas uniforme, ne cherchez pas simplement à augmenter la puissance de la lampe. Ce n’est généralement pas efficace. Le problème réside souvent dans la géométrie de la réflexion de la lumière. Remplacez donc les réflecteurs par des réflecteurs en or. Cela améliorera considérablement le rendement thermique du système.