מחמם לאידוי של חומרי המס לשימוש ברזיסטורים

בתהליך הליתוגרפיה, החימום העדין אינו רק שלב החימום הראשוני. זהו שלב שמבטיח את יציבות החומר הפוטורזיסט – על ידי הוצאת החומר הממס מהחומר הפוטורזיסט...