फैब फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक के दौरान 0.5°C का अंतर ही पर्याप्त है, ताकि फोटोरेजिस्ट में छिपे हुए दोष पैदा हो जाएँ। और यदि हार्ड बेक प्रक्रिया में एकरूपता न हो, तो न केवल समय बर्बाद होता है, बल्कि पूरा उत्पादन भी बर्बाद हो जाता है। हीटिंग तत्व को हर शिफ्ट में, हर घंटे में सही तरीके से काम करना ही होता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने अत्यधिक शुद्ध पानी का उपयोग करके ऐसा हीटिंग लैम्प बनाया है; यह कंट्रोल्ड शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण के आधार पर काम करता है, एवं यह क्वार्ट्ज कवर में लगा होता है। इससे वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C की एकरूपता बनी रहती है; इसके अलावा कोई कण भी नहीं बनता, जिससे रेजिस्ट में कोई दूषण नहीं होता। पावर डेन्सिटी को ऐसे ही समायोजित किया गया है कि दरवाजा खुलने/बंद होने के कुछ ही सेकंडों में तापमान पुनः संतुलित हो जाता है। लैम्प में अत्यधिक शुद्ध पानी का उपयोग किया गया है, ताकि तापमान स्थिर रहे, एवं चैंबर की स्थिति हर बार एक जैसी ही रहे।
लिथोग्राफी में इसका क्या फायदा है?
लिथोग्राफी में एकरूपता ही सबसे महत्वपूर्ण है। यह लैम्प सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान को अच्छी तरह नियंत्रित करता है; इससे लाइन-विड्थ में विविधता कम हो जाती है, एवं उन्नत चिपों का उत्पादन बेहतर हो जाता है। यह लैम्प 7×24 घंटे चलता रहता है, एवं इसकी आयु 5,000 घंटों से अधिक होती है; इसके अलावा इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम कमी होती है। इससे रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है। ऊर्जा खपत भी प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुरूप ही होती है; इससे संचालन लागत कम हो जाती है।
क्या तैयारी करनी आवश्यक है?
यह लैम्प मौजूदा बेक ट्रैकों में आसानी से लग सकता है; इसमें मानक फ्लूइडिक/इलेक्ट्रिकल इंटरफेस भी हैं। लेकिन इसके लिए अत्यधिक शुद्ध पानी का उपयोग आवश्यक है, एवं इस पानी में कोई कण नहीं होना चाहिए। यदि लक्षित तापमान से कम तापमान पर डियोनाइज्ड पानी का उपयोग किया जाए, तो माइक्रो-बबल बन सकते हैं; इसलिए हमने न्यूनतम प्रवाह एवं दबाव की सीमाएँ निर्धारित की हैं, ताकि कवर तापीय रूप से स्थिर रहे। एक बार लूप सही तरीके से सेट हो जाने के बाद, यह लैम्प एक स्थिर प्रक्रिया वेरिएबल की तरह ही काम करता है… यानी रखरखाव की कोई समस्या ही नहीं रहती।