फैब फ्लोर पर, यदि तापमान में आधा डिग्री भी बदलाव हो जाए, तो इससे फोटोरेजिस्ट की एकरूपता बिगड़ जाती है। ऐसी स्थिति में प्रक्रिया रुक जाती है, और उत्पादन की गुणवत्ता घट जाती है। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं, ताकि तापमान में होने वाले ऐसे बदलावों को शुरू होने से ही रोका जा सके।
क्यों यह महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसे हीटरों को ऐसे डिज़ाइन किया है कि चक के सभी हिस्सों में तापमान ±0.1°C की सीमा में ही रहे। इन हीटरों में त्वरित तापमान-नियंत्रण व्यवस्था है, जिससे फोटोरेजिस्ट पर अतिरिक्त तापमान का प्रभाव न पड़े। ये हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करके ऊर्जा को तेज़ गति से उत्सर्जित करते हैं। इसके अलावा, ये हीटर क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप हैं; इसलिए बेकिंग/डीगैसिंग के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होते। हर बार तापमान समान ही रहता है, इसलिए पर्यावरणीय परिस्थितियों में होने वाले बदलावों से उत्पादन प्रभावित नहीं होता।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसी एकरूपता से उत्पादन की गुणवत्ता में सुधार होता है, और पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। त्वरित इन्फ्रारेड प्रतिक्रिया के कारण बेकिंग समय कम हो जाता है; इससे कुल उत्पादन समय भी कम हो जाता है। साथ ही, विलायकों को पूरी तरह से निकाला जा सकता है, एवं किनारों पर उत्पन्न होने वाली समस्याओं को भी नियंत्रित किया जा सकता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा केवल आवश्यकता के अनुसार ही दी जाती है। ये हीटर 24/7 चल सकते हैं, एवं इनकी देखभाल भी आसानी से की जा सकती है; इससे अप्रत्याशित रुकावटें नहीं होतीं।
आपको क्या ध्यान में रखना होगा?
ये हीटर आसानी से इंटीग्रेट हो जाते हैं, लेकिन इनके लिए स्थिर वोल्टेज एवं उचित शीतलन व्यवस्था आवश्यक है। रेसिस्ट स्टैक एवं सब्सट्रेट स्टैक के लिए तापमान-नियंत्रण व्यवस्था को सही ढंग से सेट करने में थोड़ा समय लगेगा। एक बार यह व्यवस्था ठीक हो जाने के बाद, प्रक्रिया में कोई बदलाव नहीं होगा – भले ही उत्पादन की गति में कोई बदलाव हो।