Coba pikirkan bagaimana cara kerja udara panas. Pertama-tama, udara perlu dipanaskan terlebih dahulu, lalu menunggu hingga udara tersebut mampu memanaskan benda yang akan diproses. Dalam proses pengolahan semikonduktor, waktu penantian ini sangat merugikan, karena merupakan pemborosan waktu yang berdampak negatif pada efisiensi proses produksi.
Itulah mengapa kita menggunakan pemancar inframerah. Alih-alih menggunakan udara panas, panas radiasi langsung mengenai benda yang akan diproses. Ini merupakan cara yang lebih efektif. Itulah sebabnya banyak pabrik yang menggunakan metode ini.
Rahasianya ada pada kapas penutup berbahan seramik. Kualitas pemancar inframerah bergantung pada tempat penyambungannya. Kita menggunakan kapas penutup berbahan seramik untuk menghubungkan elemen pemanas dengan kabel listrik. Mengapa seramik? Karena bahan ini tidak akan melengkung atau meleleh meskipun suhu sangat tinggi.
Kapas seramik berfungsi sebagai penghalang agar panas tidak kembali ke kabel listrik. Tanpa kapas seramik, panas akan merusak isolasi kabel, sehingga menyebabkan gangguan dalam proses produksi. Tidak ada yang ingin hal tersebut terjadi.
Beralih dari sistem penggunaan udara panas ke sistem pemancar inframerah bukanlah hal yang mudah. Anda harus menghadapi peningkatan intensitas panas yang signifikan. Suhu akan naik dengan cepat, tetapi hal ini juga memberikan beban berat pada perangkat keras. Kapas seramik berperan penting untuk menjaga tabung kuarsa tetap tertutup dan kontak elektrik tetap stabil, bahkan ketika suhu berfluktuasi secara drastis.
Satu hal yang perlu diingat: posisi pemasangan sangat penting. Jika bracket pemasangan sedikit saja tidak tepat, maka akan terjadi area dingin pada permukaan wafer.
Keuntungan nyata? Waktu yang digunakan dapat dikurangi. Hal terbaiknya adalah Anda tidak perlu menunggu chamber mencapai suhu yang stabil. Anda hanya perlu mengaktifkan pemancar inframerah, energi akan langsung ditransfer ke benda yang akan diproses. Dengan demikian, kapasitas produksi wafer per jam pun meningkat. Namun, pastikan sistem pendinginan Anda mampu menangani panas yang dipancarkan oleh benda yang diproses. Jika tidak, sensor Anda bisa rusak.