탄소나노튜브 제조용 히터

300mm 웨이퍼를 사용할 경우, 포토레지스트를 건조하는 과정에서 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 치명적인 오차가 발생하여 전체 생산 물량이 낭비될 수 있습니다. 그래서 저희는 공정 중에도 일관된 열 특성을 유지할 수 있도록 탄소나노튜브를 이용한 가열 장치를 개발했...