저항체용 용매 증발 가열기

리소그래피 공정에서의 ‘소프트 베이킹’은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 포토레지스트를 제자리에 고정시키는 과정으로, 용매를 제거하고 나머지 공정 동안 유지될 온도를 설정하는 것입니다. 만약 히터가 제 역할을 하지 못한다면, 웨이퍼의 두께가 균일하지 않게 되거나,...