Fikirkan bagaimana udara panas berfungsi. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian menunggu sehingga udara tersebut dapat memanaskan bahan yang akan diproses. Dalam proses pembuatan semikonduktor, masa menunggu ini merupakan hal yang sangat merugikan. Ia merupakan pembaziran masa yang akan mengurangkan kecepatan proses pengeluaran.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemancar inframerah. Daripada menggunakan udara untuk memanaskan bahan, haba yang dihasilkan oleh pemancar inframerah akan sampai langsung ke bahan yang ingin dipanaskan. Ini merupakan cara yang lebih efektif. Itulah sebabnya banyak kilang yang menggunakan teknologi ini.
Rahsianya terletak pada penutup seramik.
Kualiti pemancar inframerah bergantung pada tempat penyambungannya. Kita menggunakan penutup seramik untuk menghubungkan komponen pemanas dengan kabel elektrik. Mengapa seramik? Kerana ia tidak akan membengkok atau meleleh walaupun suhu menjadi sangat tinggi.
Penutup seramik berfungsi sebagai penghalang haba. Tanpa penutup seramik, haba akan masuk semula ke dalam kabel elektrik. Jika ini berlaku, sistem insulasi akan rosak, dan akibatnya proses pengeluaran akan terhenti. Tiada siapa yang mahu perkara ini berlaku.
Perubahan dari penggunaan udara panas kepada pemancar inframerah bukanlah sesuatu yang mudah. Anda perlu menghadapi peningkatan ketumpatan haba yang besar. Suhu akan meningkat dengan cepat, tetapi intensiti haba yang tinggi ini akan memberi tekanan besar pada peralatan. Penutup seramik membantu menjaga kestabilan suhu, walaupun suhu berubah-ubah.
Satu perkara yang perlu diingat: posisi pemasangan sangat penting. Jika posisi braket pemasangan tidak tepat, kawasan tertentu pada bahan yang diproses akan menjadi sejuk.
Kelebihan sebenarnya? Masa yang digunakan untuk menunggu dapat dikurangkan.
Yang terbaik ialah anda tidak perlu menunggu sehingga bilik proses mencapai suhu yang stabil. Anda hanya perlu mengaktifkan pemancar inframerah, dan tenaga akan dipindahkan dengan cepat. Ini akan meningkatkan kelajuan pengeluaran wafer. Namun, pastikan sistem penyejukan anda mampu menangani haba yang dihasilkan. Jika tidak, sensor anda mungkin akan rosak.