Di bilik pemanggangan, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pemanggangan yang lembut sudah cukup untuk menyebabkan kecacatan terbentuk dalam lapisan fotoresist tersebut. Jika suhu pemanggangan yang keras tidak konsisten, bukan sahaja masa akan terbuang, tetapi seluruh produk juga akan rosak. Komponen pemanas perlu berfungsi dengan baik, dari masa ke masa, jam demi jam.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami telah membina lampu pemanas air yang sangat bersih menggunakan pancaran inframerah gelombang pendek yang dikawal rapi. Lampu ini diletakkan di dalam kelongsong kuarsa yang sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Ini membolehkan suhu pada permukaan wafer kekal konsisten pada tahap ±0.1°C, tanpa adanya zarah-zarah yang boleh merosakkan lapisan fotoresist. Kepadatan tenaga lampu disesuaikan agar dapat memberikan respons termal yang cepat; oleh itu, suhu akan kembali normal dalam beberapa saat sahaja setelah pintu dibuka dan ditutup. Badan lampu menggunakan sistem pengedaran air yang sangat bersih untuk memastikan suhu tetap stabil, sekaligus melindungi wafer daripada gangguan termal. Ini memastikan profil suhu bilik pemanggangan tetap konsisten, dari satu batch ke batch yang lain.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, ketepatan merupakan faktor penting. Lampu ini memastikan suhu pemanggangan yang lembut dan keras kekal konsisten, sekaligus mengurangkan variasi ketebalan garisan pada wafer. Dalam operasi harian, lampu ini berfungsi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan jangka hayatnya melebihi 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Ini bermakna keperluan untuk alat ganti berkurangan, dan masa penyelenggaraan juga menjadi lebih singkat. Penggunaan tenaga lampu disesuaikan dengan keperluan proses, sehingga kos operasi dapat dikurangkan tanpa mengorbankan kawalan suhu.
Apa yang perlu dipertimbangkan
Lampu ini boleh digunakan dalam sistem pemanggangan sedia ada, dengan saiz yang kompak serta antaramuka cecair/elektrik yang standard. Namun, ia memerlukan sistem pengedaran air yang sangat bersih, dengan nilai resistiviti dan kawalan zarah yang tepat. Jika air yang digunakan mempunyai suhu yang rendah, ia boleh menyebabkan pembentukan gelembung mikro. Oleh itu, kami menetapkan had aliran dan tekanan minimum untuk memastikan kelangsungan stabiliti suhu lampu. Setelah sistem disediakan dengan betul, lampu ini akan berfungsi seperti variabel proses yang stabil, tanpa menimbulkan masalah penyelenggaraan.