Op de productieafdeling is een verschil van 0,5°C tijdens het zachte bakproces al voldoende om een verborgen defect in de fotoresist te veroorzaken. En als de temperatuur tijdens het harde bakproces niet gelijkmatig is, verlies je niet alleen tijd, maar ook de hele productiepartij. De verwarmingselementen moeten dus continu hun werk doen, shift na shift, uur na uur.
Wat belangrijk is achter de schermen We hebben de lamp voor het verhitten van ultraschoon water ontworpen met behulp van gecontroleerde kortegolf-infraroodstraling. De lamp zit in een kwartsomhulsel dat geschikt is voor gebruik in een zuiverruimte van klasse 1–100. Hierdoor is er een thermische uniformiteit op het oppervlak van de wafer van ±0,1°C. Er worden geen deeltjes gegenereerd en er vindt geen uitwaseming plaats die de fotoresist kan bevuilen. De vermogensdichtheid van de lamp is zo ingesteld dat er snel op temperatuursveranderingen kan worden gereageerd: de setpoint komt binnen enkele seconden terug naar zijn oorspronkelijke waarde nadat de deur wordt geopend of gesloten. Het lichaam van de lamp maakt gebruik van een circulatieysteem met ultraschoon water, zodat de warmte effectief kan worden afgevoerd. Dit beschermt het thermische evenwicht van de wafer en zorgt ervoor dat de condities in de kamer consistent blijven, batch na batch.
Waarom deze lamp werkt in lithografie In lithografie is herhaalbaarheid cruciaal. Deze lamp zorgt ervoor dat de temperaturen tijdens het zachte en harde bakproces goed verdeeld zijn. Dit helpt om variaties in de lijndikte te verminderen en daarmee de productiekwaliteit te verbeteren. De lamp kan 24/7 draaien zonder onderbrekingen. De levensduur bedraagt meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afname van de prestaties. Dit betekent dat er minder reserveonderdelen nodig zijn en dat er minder onderhoud nodig is. De energieverbruik past zich aan de thermische behoeften van het proces aan, zodat de bedrijfskosten lager blijven, zonder dat de controle over het proces verloren gaat.
Wat je moet meenemen in de planning De lamp past gemakkelijk in bestaande baksystemen, dankzij zijn compacte formaat en standaard aansluitingen voor vloeistoffen en elektriciteit. Er is echter wel een apart systeem voor ultraschoon water nodig, met een bepaalde weerstand en minimale hoeveelheid deeltjes. Als je gedemineraliseerd water gebruikt onder de gewenste temperatuur, kunnen er microbubbels ontstaan. Daarom wordt er een minimumstroomsnelheid en -druk vereist om de temperatuur stabiel te houden. Zodra het systeem goed is ingesteld, werkt de lamp als een vast onderdeel van het proces – geen extra onderhoudsproblemen meer.