Op de productielijn kan al een kleine afwijking van zelfs maar een halve graad ertoe leiden dat de gelijkmatigheid van de fotoresist verstoord wordt. Hierdoor stopt de productielijn en daalt de opbrengst. We hebben infraroodverwarmers ontworpen om deze afwijkingen te voorkomen, nog voordat ze zich voordoen.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We ontwerpen deze verwarmers zodat er een constante temperatuur van ±0,1°C wordt behouden over het hele oppervlak van de chuck. De verwarming vindt snel plaats, zodat er geen thermische schommelingen optreden die de kwaliteit van de fotoresist kunnen beïnvloeden. De emitters gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht om energie snel en efficiënt over te dragen. De ruimte waarin de verwarmers worden geplaatst voldoet aan de eisen van een schone ruimte van klasse 1–100; hierdoor wordt de vorming van deeltjes tijdens het verhitten en ontdooien tot nul gereduceerd. De temperatuurreproductibiliteit blijft hoog, zodat de kritieke parameters niet veranderen, zelfs wanneer de omgevingstemperatuur of de samenstelling van de batches verandert.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie
In de voorbereidingen voor lithografie zorgt deze consistentie voor een betere kwaliteit van de producten, een betere controle over de afmetingen van de producten en minder herwerkingswerkzaamheden. De snelle reactie van de infraroodverwarmers verkortt de verhittingsduur, waardoor de totale productietijd kan worden verminderd. Tegelijkertijd wordt de oplossing volledig verwijderd en blijven de randen van het product onder controle. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte alleen op verzoek wordt gegenereerd, in plaats van dat er grote hoeveelheden warmte worden gegenereerd. De apparatuur is ontworpen om 24/7 te werken, met regelmatige onderhoudsintervallen, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt.
Wat je moet meenemen in overwegingen
Deze verwarmers kunnen gemakkelijk worden geïntegreerd, maar ze hebben wel een stabiele spanning en koeling nodig die overeenkomen met de vereiste werkingssnelheid. Er zal waarschijnlijk een korte tijd nodig zijn om de instellingen van de verwarmers af te stemmen op de specifieke eisen van de fotoresist en het substraat. Eenmaal ingesteld, blijft de kwaliteit van het product constant – zelfs wanneer de productiedruk toeneemt.