Na linii o długości 300 mm wystarczy odchylenie temperatury o pół stopnia Celsjusza podczas procesu suszenia fotorezystu, aby doszło do błędów w wymiarach kluczowych elementów struktury, co może skutkować utratą całej partii produktów. Stworzyliśmy grzałkę na bazie węglowych nanorurek, aby zapewnić stabilną pracę w określonym zakresie temperatury, bez żadnych kompromisów.
Co jest istotne w tym procesie Grzałka opiera się na elemencie z węglowych nanorurek, dzięki czemu reaguje szybko i zapewnia stabilną pracę. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność temperatury na powierzchni płytki w zakresie ±0,1°C, a także wysoką powtarzalność wyników. To sprawia, że parametry procesu są spójne pomiędzy poszczególnymi partiami produktów.
Konstrukcja ta nie wytwarza praktycznie żadnych cząstek, co umożliwia jej używanie w pomieszczeniach o klasyfikacji czystości od 1 do 100. Wybrane materiały zapewniają niski poziom uwalniania gazów, nawet podczas ciągłych cykli suszenia. W praktyce oznacza to mniej defektów, lepszą kontrolę wymiarów oraz przewidywalny budżet energetyczny.
Dlaczego to jest ważne w litografii W litografii i procesie obróbki fotorezystu profil termiczny nie jest tylko dodatkowym parametrem – to sam proces. Ta grzałka zapewnia stabilne warunki podczas suszenia, dzięki czemu szerokość linii, kąt ścianek oraz grubość pozostałego filmu pozostają w normie. Dzięki temu unikamy marnowania dobrych płytek i konieczności ich ponownej obróbki.
Grzałka może pracować 24/7 bez przerw, a dane z eksploatacji pokazują brak istotnych odchyleń w długim czasie. To dokładnie to, czego wymagają procesy produkcji o dużych objętościach. Ponieważ grzałka reaguje szybko, czas bezczynnego działania maleje, a koszt obsługi jednej płytki również spada.
Co należy zrobić Integracja grzałki jest prosta, ale elementy z węglowych nanorurek mają ścisłe ograniczenia temperaturowe oraz określone tempo wzrostu temperatury. Należy dostosować masę cieplną urządzenia oraz ustawienia sterownika, aby osiągnąć maksymalną jednorodność temperatury.
Należy przeprowadzić krótki test, aby ustalić prawidłowe ustawienia PID i sprawdzić poprawność profilu termicznego we wszystkich trybach pracy.