Na linii produkcyjnej kluczowym etapem jest proces wypalania płytek krzemowych – to właśnie na tym etapie decyduje się o jakości produktu. Nawet niewielka zmiana temperatury o 2°C może wpłynąć na wymiary płytki, a jeden tylko cząsteczka powstała podczas procesu nagrzewania może zniszczyć całą płytkę. Stworzyliśmy specjalne urządzenie do nagrzewania płytek, aby eliminować takie wahania.
Co jest ważne pod względem technicznym? Utrzymujemy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C na całej powierzchni płytki, dzięki czemu każda jej część otrzymuje takie samo „termiczne środowisko”. Urządzenie może być używane w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, bez konieczności obaw o liczbę cząsteczek. W miejscu dostarczania ciepła nie powstają żadne cząsteczki. Powtarzalność temperatury wynosi ±0,2°C, co zapewnia przewidywalność procesu litografii. Urządzenie wykorzystuje elementy o krótkich falach инфрацрвенного światła, co umożliwia szybkie i kontrolowane regulowanie temperatury. Strefa nagrzewania jest projektowana tak, by minimalizować uwalnianie gazów, dzięki czemu integralność fotorezystu pozostaje nienaruszona.
Dlaczego to działa w procesie litografii? Proces delikatnego wypalania służy do usuwania rozpuszczalników i kontrolowania napięcia w warstwie fotorezystu; natomiast silniejsze wypalanie zapewnia lepszą przyczepność i odporność na procesy chemiczne. Precyzyjna kontrola obu procesów przekłada się na stabilną grubość warstwy fotorezystu, mniej defektów oraz wyższy wskaźnik produktywności pierwszej próby. Dzięki temu można uzyskać szybsze cykle produkcji bez nadmiernych strat energii, a także mniej przerw w eksploatacji urządzenia – nasze urządzenia pracują już ponad 5 000 godzin, przy spadku wydajności mniejszym niż 5%. Rezultatem jest stabilna kontrola grubości warstwy fotorezystu i mniej odpadów.
Kilka praktycznych uwag: podczas instalacji konieczne jest dostosowanie profilu termicznego do specyfiki urządzenia do nakładania warstwy fotorezystu oraz sprawdzenie kompatybilności układów odprowadzania gazów i chłodzenia. Oczekiwać można krótkiego okresu konfiguracji urządzenia, aby ustalić optymalne parametry pracy. Gdy system jest już skonfigurowany, może pracować 24/7, ale należy utrzymać stabilny przepływ powietrza w pomieszczeniu – zmiany w tym przepływie mogą wpłynąć na jakość produkcji.