Pare de desperdiçar calor em seus sistemas de aquecimento de wafers!
O problema com os aquecedores infravermelhos padrão é que eles perdem energia. Uma grande parte da energia utilizada acaba se perdendo no chassi do equipamento, em vez de ser usada para seu objetivo real. No processamento de semicondutores, esse tipo de desperdício é um verdadeiro pesadelo.
É por isso que utilizamos refletores revestidos de ouro. Pode parecer algo sofisticado, mas o objetivo é simples: queremos que cada watt de energia seja direcionado ao wafer, e não às paredes do equipamento.
Por que ouro?
A maioria das pessoas usa alumínio. É barato, sim. Mas o alumínio tende a absorver muita energia na faixa de ondas infravermelhas longas. O ouro é diferente: ele reflete mais de 98% dessa energia. Quando revestimos a cavidade do aquecedor com ouro, essas “zonas mortas” onde o calor costuma se perder desaparecem. A energia é direcionada com precisão ao wafer. O resultado? Obtemos as temperaturas desejadas sem precisar aumentar a potência do fornecimento de energia.
Direcionando o calor para onde ele precisa ir
Ao configurar um aquecedor de wafers, o que realmente importa é a uniformidade do aquecimento. Queremos que o calor seja distribuído de maneira uniforme e rápida. Os refletores de ouro permitem que o feixe de calor seja direcionado com precisão, fazendo com que a temperatura aumente muito mais rapidamente. Além disso, isso mantém o resto do equipamento mais frio, reduzindo o estresse sobre os componentes eletrônicos.
Os problemas
O ouro não é invencível. Trata-se de uma camada fina. Se você trabalhar com gases corrosivos ou partículas abrasivas, esse revestimento pode ser danificado. Quando isso acontece, a capacidade de reflexão do ouro diminui, e sua conta de luz aumenta. É preciso manter as vedações do equipamento em bom estado, para que o ouro continue funcionando corretamente.
Dicas práticas para o setor industrial
Se você trocar os refletores por aqueles revestidos de ouro, poderá reduzir a potência do aquecedor sem perder a eficiência. Isso torna o sistema mais eficiente em termos de consumo de energia. E se você tiver um wafer de 300 mm com padrões de aquecimento irregulares, não tente simplesmente aumentar a potência da lâmpada. Isso raramente funciona. O problema geralmente está relacionado à geometria da reflexão da luz. Substitua os refletores por aqueles revestidos de ouro. Assim, você conseguirá um melhor controle térmico e um desempenho mais eficiente.