Подумайте о том, как работает горячий воздух. Сначала необходимо нагреть воздух, а затем ждать, пока он нагреет обрабатываемый объект. В производстве полупроводников такое ожидание является серьезным препятствием – это просто потеря времени, которая снижает производительность.
Вот почему мы используем излучатели инфракрасного света. Вместо того чтобы работать с воздухом, излучаемое тепло попадает непосредственно на объект обработки. Это значительно ускоряет процесс. Именно поэтому все больше производств с высокой точностью переходят на использование таких излучателей.
Секрет заключается в керамической защитной оболочке.
Качество излучателя зависит от места его соединения с элементами управления. Мы используем керамические защитные оболочки для обеспечения надежного соединения между нагревательным элементом и электрическими проводами. Почему керамика? Потому что она не деформируется и не плавится при экстремальных температурах. Она выполняет роль «стены», которая не позволяет теплу распространяться обратно в провода. Без такой защитной оболочки тепло может повредить изоляцию проводов, что приведет к неплановым простоям. Никто этого не хочет.
Переход с использования принудительного нагрева на излучение инфракрасного света – это не так просто, как просто переключить выключатель. Необходимо учитывать значительное увеличение плотности тепла. Температура будет подниматься гораздо быстрее, но это создает большую нагрузку на оборудование. Керамическая защитная оболочка помогает сохранять герметичность кварцевой трубки и стабильность электрического контакта, даже при сильных колебаниях температуры.
Еще один важный момент: необходимо точно определить местоположение излучателя. Если крепежные элементы расположены неправильно, на пластине будут образовываться холодные зоны.
Настоящая выгода – это сокращение времени ожидания.
Самое прекрасное в этом решении – то, что можно полностью избавиться от необходимости ожидания, пока камера достигнет нужной температуры. Достаточно просто активировать излучатель – энергия тут же передается на обрабатываемый объект. Это значительно увеличивает количество пластин, которые можно обработать за час. Но нужно убедиться, что система охлаждения способна справляться с теплом, возникающим при обработке. В противном случае датчики могут быть повреждены.