На производственной линии даже небольшое изменение температуры в половину градуса может нарушить однородность состава фоторезиста. Это приводит к остановке процесса и снижению качества продукции. Мы разработали инфракрасные нагреватели для дегазации пластин, чтобы предотвратить такие отклонения ещё на этапе их создания.
Что важно при использовании этих нагревателей
Мы разрабатываем эти нагреватели так, чтобы температура оставалась стабильной в пределах ±0,1°C на всей площади поверхности пластины. Благодаря быстрой регулировке температуры удается избежать чрезмерного нагрева фоторезиста. Источники тепла используют коротковолновое инфракрасное излучение для быстрого передачи энергии. Камера, в которой работают эти нагреватели, соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100, что позволяет избежать образования частиц во время процесса дегазации. Температура остается стабильной с каждым циклом, благодаря чему критически важные параметры процесса не меняются под влиянием колебаний окружающей температуры или изменений состава материалов.
Почему это важно в процессе литографии
Благодаря такой стабильности процесса удается достичь высокого качества фоторезиста, что способствует снижению количества необходимых корректировок. Быстрая реакция инфракрасных нагревателей сокращает время обработки, что, в свою очередь, сокращает общее время цикла. При этом растворители полностью удаляются, а краевые зоны пластины остаются sotto контролем. Потребление энергии снижается, поскольку тепло вырабатывается по мере необходимости, а не накапливается в больших объемах. Оборудование рассчитано на круглосуточную работу, с предсказуемыми интервалами технического обслуживания, что позволяет избежать неплановых простоев.
Что необходимо учитывать при использовании этих нагревателей
Эти нагреватели хорошо интегрируются в систему, но им требуется стабильное напряжение и система охлаждения, соответствующая указанным параметрам работы. Потребуется некоторое время на настройку параметров нагрева для конкретного типа фоторезиста и подложки. После этого параметры остаются стабильными, даже при изменении объема производства.