
Wafer sistemlerinizdeki ısı kaybını durdurun
Standart kızılötesi ısıtıcıların sorunu şudur: Enerjinizin büyük bir kısmı işlevini yerine getirmek yerine boşa harcanır. Yarı iletken işlemlerinde bu tür bir enerji israfı gerçekten büyük bir sorundur.
İşte bu yüzden altın kaplamalı reflektörler kullanıyoruz. Kulağa karmaşık geliyor olabilir, ancak amacımız basit: Enerjinin her bir watt’ının waferin üzerine gitmesini sağlamak, makinenin duvarlarına değil.
Neden altın?
Çoğu kişi alüminyum kullanır. Elbette ucuzdur. Ancak alüminyum, uzun dalga boyundaki kızılötesi ışınları çok fazla emer. Altın ise farklıdır; bu dalga boylarındaki ışınların %98’inden fazlasını yansıtır. Isıtıcıyı altınla kapladığımızda, ısının genellikle kaçtığı bölgeler ortadan kalkar. Enerji daha etkili bir şekilde waferin üzerine yönlendirilir. Sonuç olarak, güç kaynağınızı zorlamadan istediğiniz yüzey sıcaklıklarına ulaşabilirsiniz.
Isının doğru yere gitmesi
Bir wafer ısıtıcısı kurarken aslında eşitlik ararsınız. Isının eşit şekilde dağılmasını ve bunun hızlı olmasını istersiniz. Altın kaplamalı reflektörler, ışının yayılma açısını daraltır. Böylece enerji doğrudan waferin üzerine yönlendirilir ve sıcaklık artışı çok daha hızlı gerçekleşir. Ayrıca, makinenin diğer kısımları daha soğuk kalır; bu da donanım üzerindeki yükü azaltır.
Ancak dikkat!
Altın da mükemmel değildir. İnce bir tabakadır. Eğer aşındırıcı gazlar veya parçacıklarla çalışıyorsanız, bu kaplama çizebilir veya soyulabilir. Hasar gördüğünde yansıtma özelliği azalır ve elektrik faturasınız artar. Dolayısıyla odanın havasını sıkı tutmalısınız. Böylece altın kaplama sağlam kalır.
Atölye için pratik tavsiyeler
Eğer altın kaplamalı reflektörler kullanırsanız, güç miktarını azaltarak bile verimliliğinizi koruyabilirsiniz. Bu sayede güç kaynaklarınız daha az yorulur. Eğer 300 mm’lik waferlerde eşit olmayan ısı dağılımı varsa, sadece lambanın gücünü artırmayın. Bu nadiren işe yarar. Sorun genellikle yansımanın geometrisindedir. Altın kaplamalı bir sistem kullanın; böylece ısı dağılımı daha düzgün olur ve her şey daha iyi çalışır.