Üretim alanında, sadece yarım derecelik bir sıcaklık değişimi bile fotoresistin homojenliğini bozar. Bu durumda üretim süreci durur ve verimlilik düşer. Biz de bu tür sıcaklık değişikliklerinin meydana gelmesini engellemek için özel kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik.
Önemli olan şeyler
Bu ısıtıcıları, chuck üzerinde ±0,1°C’lik bir sabitlikle çalışacak şekilde tasarladık. Ayrıca hızlı tepki süresine sahip oldukları için termal aşırılıkların fotoresiste zarar vermesini önledik. İşaretçiler, enerjiyi hızlı ve doğrudan darbeler halinde aktarma amacıyla kısa dalga boylu kızılötesi ışık kullanır. Ayrıca odanın Class 1–100 standartlarına uygun olması sayesinde, pişirme ve gaz çıkarma işlemleri sırasında parçacık oluşumu engellenir. Sıcaklık tekrarlanabilirliği her döngüde sabit kalır; böylece çevresel değişiklikler veya parti karışımlarındaki farklılıklar nedeniyle kritik pişirme parametreleri bozulmaz.
Litografide neden önemli?
Litografi hazırlığı sırasında bu tutarlılık, daha iyi bir pişirme işlemi, daha doğru CD kontrolü ve daha az yeniden işleme gerektirir. Hızlı kızılötesi tepki süresi, pişirme süresini kısaltır; bu da toplam üretim süresini azaltırken aynı zamanda çözücülerin tamamen uzaklaştırılmasını ve kenar bölgelerin kontrol altında tutulmasını sağlar. Enerji tüketimi ise, ısı talep edildiğinde verildiği için azalır. Donanım, 7/24 çalışabilecek şekilde tasarlanmıştır ve öngörülebilir bakım aralıkları sayesinde plansız duruşlar üretim sürecini etkilemez.
Planlamanız gerekenler
Bu ısıtıcılar kolayca entegre edilebilir; ancak belirlenen çalışma koşullarına uygun stabil bir voltaj ve soğutma sistemi gereklidir. Fotoresist ve substrat yığınları için uygun ayarların yapılabilmesi için kısa bir kurulum süresi gerekmektedir. Ayarlar yapıldıktan sonra, parti sayısının artırılmasına rağmen işlem süreci sabit kalır.