Подумайте про те, як працює гаряче повітря. Спочатку потрібно нагріти повітря, а потім чекати, поки воно нагріє об’єкт обробки. У світі обробки напівпровідників це очікування є серйозною проблемою – це просто марна трата часу, яка впливає на продуктивність.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі. Замість того, щоб працювати з повітрям, інфрачервоне випромінювання безпосередньо потрапляє на об’єкт обробки. Це значно прискорює процес. Саме тому багато компаній, які працюють із високоточними матеріалами, переходять на використання інфрачервоних випромінювачів.
Секрет полягає у керамічному елементі закриття.
Якість інфрачервоного випромінювача залежить від того, де саме він приєднується. Ми використовуємо керамічні елементи закриття для забезпечення надійного з’єднання між нагрівальним елементом та електричними проводами. Чому саме кераміка? Тому що вона не деформується та не плавиться при дуже високих температурах. Вона фактично слугує „стіною“, яка не дозволяє теплу повертатися назад до електричних проводів. Без такого елемента ізоляція порушується, і це призводить до непланових перерв у роботі. Ніхто не хоче цього.
Перехід від використання примусового повітря до інфрачервоного випромінювання не є таким простим, як просто перемикання вимикача. Йдеться про значне збільшення щільності тепла. Температура піднімається значно швидше, але це створює великий тиск на обладнання. Керамічний елемент закриття допомагає зберегти герметичність кварцової трубки та стабільність електричного контакту, навіть коли температура сильно змінюється.
Одне, що потрібно пам’ятати: важлива точність розташування елементів. Якщо кріплення будуть навіть трохи не на своєму місці, на пластині з’являться „холодні зони“.
Найкращий результат – це скорочення часу очікування.
Найкраще те, що можна значно скоротити час очікування. Не потрібно сидіти та чекати, поки камера досягне стабільної температури. Достатньо лише активувати випромінювач – енергія передається миттєво, і процес може продовжуватися.
Це дозволяє значно підвищити кількість оброблених пластин на годину. Але потрібно пам’ятати, що система охолодження повинна витримувати тепло, яке відбивається від об’єкта обробки. Інакше сенсори можуть пошкодитися.