На виробничій лінії саме на етапі випалювання залежить якість продукції. Зміна температури на 2°C під час м’якого чи жорсткого випалювання може призвести до зміни критичних розмірів деталей. Одна-два частинки, які утворюються під час нагрівання, можуть пошкодити поверхню деталі. Ми створили спеціальну систему для нагріву пластин, щоб усунути таку нестабільність.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми підтримуємо температурну однорідність на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластини, щоб кожна ділянка отримувала однаковий рівень теплового навантаження. Система працює у чистих залих класу 1–100 без значного збільшення кількості частинок. На етапі нагрівання не утворюється жодних частинок. Повторюваність температури залишається в межах ±0,2°C, що забезпечує передбачуваність процесу літографії. Для швидкого та контрольованого нагрівання використовуються елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Крім того, система розроблена так, щоб мінімізувати вивільнення газів, що дозволяє зберегти цілісність фоторезисту.
Ось чому ця система ефективна для літографії: м’яке випалювання спрямоване на видалення розчинників та контроль напруження в плівці; жорстке випалювання забезпечує кращу адгезію та стійкість до ерозії. Чіткий контроль над обома процесами призводить до стабільної якості продукції, меншої кількості дефектів та вищої якості продукції після першого проходження через прес. Це також означає швидший процес виробництва, менше витрат енергії завдяки ефективному тепловому керуванню, а також менше перерв у роботі – наші пристрої працюють понад 5 000 годин без значного зниження продуктивності. Результатом є стабільне керування товщиною ліній на поверхні пластини та менша кількість бракованих продуктів.
Кілька практичних порад: під час встановлення необхідно пристосувати температурний профіль до конкретної геометрії камери для нанесення покриття, а також переконатися у сумісності систем відведення повітря та охолодження. Очікуйте короткий період налаштувань для досягнення оптимальних параметрів роботи системи. Після налаштування система може працювати 24/7, але необхідно підтримувати стабільний потік повітря в чистій залі – зміни в ламінарному потоці можуть призвести до незначних змін на краях пластини.