Чому вакуумні інфрачервоні нагрівачі є оптимальним рішенням для виробництва напівпровідників без свинцю
Коли люди говорять про використання матеріалів без свинцю чи про „зелене“ виробництво в сфері напівпровідників, вони зазвичай зосереджуються на хімічних аспектах. Але якщо ви самі працюєте на виробництві, ви знаєте, що справжньою проблемою є тепло.
Старомодні конвективні печі є неефективними – вони витрачають багато енергії на нагрівання великої кількості повітря. Чесно кажучи, повітря є лише посередником для пилу та частинок, які потрапляють на поверхню пластин. Ми вирішили не боротися з повітрям, а просто позбутися його. Саме тому ми використовуємо вакуумні інфрачервоні нагрівачі.
Усунення посередника
У вакуумній камері немає повітря, через яке могло б поширюватися тепло. Немає ні проведення тепла, ні конвекції – лише чисте випромінювання.
Інфрачервоні лампи випромінюють електромагнітні хвилі, які прямується через основу та потрапляють безпосередньо на матеріал. Не потрібно чекати, поки нагріваючий елемент нагріє газ, який потім нагріє сам матеріал. Це швидко. Дуже швидко. Час обробки скорочується, оскільки енергії не потрібно пройти крізь шар повітря перед тим, як вона почне діяти.
Дотримання строгих стандартів
Клеї та сплави без свинцю є дуже вимогливими до умов нагріву. Якщо температура відрізняється трохи від необхідної, це може призвести до окислення чи деформації матеріалу. Це серйозна проблема.
Ми вирішуємо цю проблему, налаштовуючи довжину хвилі інфрачервоного випромінювання так, щоб вона точно відповідала потребам матеріалу. Це схоже на механізм замка та ключа – таким чином можна уникнути перегріву. Крім того, оскільки ми працюємо у вакуумі, можна обійтися без складних хімічних розчинників та стабілізаторів. Це чистий та простий процес – без безладу та стресу.
Інженерні аспекти
Звісно, все не є таким простим. Високоінтенсивні інфрачервоні нагрівачі виробляють велику кількість тепла.
Якщо система охолодження не справляється з цим завданням, виникають проблеми. Якщо система охолодження не функціонує, це тепло може пошкодити вакуумні ущільнення чи деформувати всю камеру. Не можна просто підключити ці пристрої та сподіватися на краще – потрібно переконатися, що система справді може відведення тепла.
Щоб уникнути проблем, ми рекомендуємо використовувати контролер типу PID з пірометрами. Це дозволяє підтримувати температуру на поверхні пластини в межах ±1°C, що дозволяє спокійно спати, знаючи, що ваша продукція не буде пошкоджена.