На поверхні плати виникнення навіть незначних коливань температури у розмірі півградуса може призвести до порушення однорідності фотохімікату. У такому разі процес припиняється, а якість продукції погіршується. Ми створили інфрачервоні нагрівачі для дегазації пластин, щоб запобігти таким коливанням ще на початковому етапі.
Що є важливим у цьому процесі
Ми проєктуємо ці нагрівачі так, щоб температура залишалась стабільною в межах ±0,1°C на всій поверхні плати. Контроль температури здійснюється швидко, що дозволяє уникнути перегріву фотохімікату. Випромінювачі використовують короткочастотне інфрачервоне світло для швидкого передачі енергії. Камера підходить для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100, що дозволяє уникнути утворення частинок під час процедури нагрівання та дегазації. Повторюваність температури залишається стабільною через цикл, тож критичні параметри процесу не змінюються навіть при змінах температури навколишнього середовища чи складу матеріалів.
Чому це важливо в літографії
У процесі підготовки до літографії така стабільність сприяє ефективному нагріванню та контролю параметрів процесу, що зменшує кількість необхідних корекцій. Швидка реакція інфрачервоних нагрівачів скорочує час нагрівання, що дозволяє скоротити загальний час виконання процесу. Водночас це дозволяє повністю видалити розчинники та контролювати форму країв поверхні. Використання енергії зменшується, оскільки тепло подається за потребою, а не накопичується у великих об’ємах. Обладнання розраховане на цілодобову роботу з можливістю планового технічного обслуговування, що дозволяє уникнути непланових зупинок.
Що потрібно враховувати
Ці нагрівачі можна легко інтегрувати в систему, але для їх правильної роботи необхідна стабільна напруга та система охолодження, яка відповідає встановленим параметрам. Очікуйте короткий період налаштувань для оптимізації параметрів нагрівання. Після цього параметри процесу залишаються стабільними, навіть при зміні обсягу виробництва.