300 ملی میٹر کی لائن پر، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران نصف ڈگری سیلسیس کا اختلاف بھی کافی ہے تاکہ پروڈکشن کے عمل میں خرابیاں پیدا ہوں، اور پوری پارٹی برباد ہو جائے۔ ہم نے کاربن نینوٹیوبوں سے بنا ہیٹر استعمال کیا، تاکہ پروسیس کے دوران درجہ حرارت مستحکم رہے، اور کوئی شکایت نہ رہے۔
اس ہیٹر کی اہم خصوصیات
یہ ہیٹر کاربن نینوٹیوبوں سے بنا ہے، اس لیے یہ تیزی سے ردِعمل دیتا ہے اور مستحکم رہتا ہے۔ اس کی وجہ سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور پروسیس کے دوران بھی یہی استحکام برقرار رہتا ہے۔ اسی وجہ سے “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” پروسیسوں میں یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
صفائی کے لحاظ سے اہمیت
یہ ہیٹر بالکل بغیر کسی ذرے کے کام کرتا ہے، اس لیے یہ کلین روم کلاس 1-100 میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔ مواد کا انتخاب اس طرح کیا گیا ہے کہ مسلسل گرم کرنے کے باوجود بھی گیسوں کا اخراج کم رہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ خرابیاں کم ہوتی ہیں، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور درجہ حرارت کا کنٹرول بھی بہتر رہتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت
لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، درجہ حرارت کا کنٹرول بہت اہم ہے۔ یہ ہیٹر پروسیس کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، تاکہ لائن کی چوڑائی، سائیڈ وال کا زاویہ، اور فلم کی موٹائی مطلوبہ حد میں رہے۔ اس طرح اچھے ویفرز ضائع نہیں ہوتے، اور دوبارہ پروسیس کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
کیا کرنا ضروری ہے؟
اس ہیٹر کو استعمال کرنے کے لیے، پہلے اس کی ترتیبات کو درست کرنا ضروری ہے، تاکہ تمام پروسیس موڈز میں درجہ حرارت مستحکم رہے۔