فیبرکی فلور پر، بیکنگ کا مرحلہ وہی ہے جہاں پروڈکشن کی کامیابی یا ناکامی منحصر ہے۔ سافٹ بیکنگ یا ہارڈ بیکنگ کے دوران 2°C کا فرق بھی پروڈکٹ کے ابعاد پر اثر ڈال سکتا ہے؛ اور حرارت دینے کے دوران پیدا ہونے والے ذرات بھی پروڈکٹ کو نقصان پہنچا سکتے ہیں۔ ہم نے ویفر کو گرم کرنے کے لئے خصوصی سسٹم تیار کیا ہے، تاکہ اس قسم کی غیر یقینی صورتحال سے بچا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں، تاکہ ہر جگہ پر یکساں درجہ حرارت حاصل ہو۔ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے کلین روموں میں بھی کام کرسکتا ہے، اور حرارت دینے کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ درجہ حرارت کی استحکام ±0.2°C کے اندر رہتا ہے، جس سے لیتھوگرافی کے عمل میں یقینی پیشن گوئی ممکن ہوتی ہے۔ اس ڈیزائن میں شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کئے گئے ہیں، تاکہ حرارت کی شرح کو تیزی سے اور کنٹرول کے ساتھ بڑھایا جاسکے۔ ہاٹ زون کو ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ کم گیسیں خارج ہوں، تاکہ فوٹوریزسٹ کی سالمیت برقرار رہے۔
لیتھوگرافی میں اس سسٹم کے استعمال کی وجہ یہ ہے کہ سافٹ بیکنگ سے حل کو ہٹایا جاتا ہے اور فلم پر لگنے والے دباؤ کو کنٹرول کیا جاتا ہے؛ جبکہ ہارڈ بیکنگ سے فلم کی چپکنے کی صلاحیت اور اس کی مضبوطی بہتر ہوتی ہے۔ ان دونوں عوامل پر سخت کنٹرول سے پروڈکٹ کی کوالٹی بہتر ہوتی ہے، نقصانات کم ہوتے ہیں، اور پہلی بار ہی پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے۔ اس سسٹم کے استعمال سے پروسیسنگ کا وقت کم ہوتا ہے، توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور مرمت کے مسائل بھی کم ہوتے ہیں۔ ہمارے سسٹم 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کرچکے ہیں، اور اس دوران پروڈکشن میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوئی ہے۔ اس کے نتیجے میں پروڈکٹ کی کوالٹی برقرار رہتی ہے، اور فضول مال کم ہوتا ہے۔
کچھ عملی نکات:
اس سسٹم کو نصب کرتے وقت، اس کے تھرمل پروفائل کو آپ کے کوٹر/ٹریک چیمبر کی ساخت کے مطابق ڈھالنا ضروری ہے، اور ایگزاسٹ اور کولنٹ سسٹم کی سازگاری کو بھی یقینی بنانا ضروری ہے۔ سسٹم کو درست طریقے سے کام کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔ یک بار سسٹم درست طریقے سے کام کرنے لگے، تو یہ 24/7 کام کرسکتا ہے، لیکن کلین روم کی ہوا کے بہاؤ کو مستحکم رکھنا ضروری ہے؛ کیونکہ ہوا کے بہاؤ میں تبدیلی سے ویفر کے کناروں پر مسائل پیدا ہوسکتے ہیں۔