Trên một dây chuyền sản xuất có chiều dài 300 mm, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5 độ C trong quá trình nung phim phản quang cũng đủ để gây ra những sai số lớn trong kích thước các thành phần cấu tạo của linh kiện, từ đó làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế bộ gia nhiệt dựa trên công nghệ ống nano carbon nhằm duy trì nhiệt độ ở mức ổn định trong suốt quá trình sản xuất, mà không có bất kỳ sai số nào.
Điều quan trọng nhất Bộ gia nhiệt này hoạt động dựa trên công nghệ ống nano carbon, vì vậy nó phản ứng nhanh và giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số khoảng ±0,1°C. Điều này giúp duy trì tính ổn định của quá trình nung phim phản quang, từ đó giúp giảm thiểu lượng sản phẩm bị hỏng.
Cấu trúc của bộ gia nhiệt này tạo ra gần như không có hạt bụi nào, vì vậy nó có thể được sử dụng trong môi trường phòng sạch loại 1–100. Các vật liệu được sử dụng cũng giúp giảm lượng khí thải ra ngoài, ngay cả trong quá trình nung liên tục. Về mặt thực tế, điều này giúp giảm số lượng sản phẩm bị hỏng, đồng thời giúp kiểm soát chính xác kích thước các thành phần cấu tạo của linh kiện.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn và xử lý phim phản quang, nhiệt độ không phải là yếu tố phụ – đó chính là yếu tố then chốt trong quy trình sản xuất. Bộ gia nhiệt này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó giúp giữ cho chiều rộng của các đường nét, góc của các thành phần cấu tạo của linh kiện ở mức ổn định. Điều này giúp tránh việc lãng phí các wafer tốt vào việc sửa chữa lại.
Bộ gia nhiệt này có thể hoạt động 24/7 mà không có sự gián đoạn nào. Dữ liệu thu được từ quá trình vận hành cho thấy không có sự thay đổi nhiệt độ đáng kể trong thời gian dài, điều này rất quan trọng đối với các quy trình sản xuất với khối lượng lớn. Vì bộ gia nhiệt phản ứng nhanh, nên thời gian chờ đợi cũng giảm đi, từ đó giúp giảm chi phí vận hành trên mỗi wafer.
Những gì bạn cần làm Việc tích hợp bộ gia nhiệt này khá đơn giản, nhưng vật liệu ống nano carbon có những giới hạn nhiệt độ nhất định và tốc độ tăng nhiệt cũng cần được kiểm soát chặt chẽ. Bạn cần điều chỉnh thông số nhiệt độ của bộ gia nhiệt sao cho đạt được mức độ đồng đều cao nhất.
Hãy tiến hành thử nghiệm ngắn ngày để điều chỉnh các thông số PID và kiểm tra độ chính xác của quá trình nung phim phản quang trong mọi chế độ hoạt động.