Hãy nghĩ về cách mà không khí nóng hoạt động. Trước tiên, bạn cần làm nóng không khí, sau đó chờ cho không khí đó làm nóng vật thể cần xử lý. Trong ngành gia công bán dẫn, việc chờ đợi này thực sự rất phiền phức. Đó là sự lãng phí thời gian, khiến hiệu suất công việc bị giảm sút.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại. Thay vì dùng không khí để truyền nhiệt, ánh sáng hồng ngoại sẽ truyền nhiệt trực tiếp vào vật thể cần xử lý. Đây chính là lý do tại sao nhiều nhà máy sản xuất bán dẫn cao cấp chọn phương pháp này.
Bí quyết nằm ở các đầu kết nối bằng gốm.
Chất lượng của bộ phát tia hồng ngoại phụ thuộc vào chất lượng của các đầu kết nối. Chúng ta sử dụng các đầu kết nối bằng gốm để kết nối giữa bộ phận phát nhiệt và dây dẫn điện. Tại sao lại chọn gốm? Bởi vì gốm không bị biến dạng hay tan chảy khi nhiệt độ tăng lên cao.
Gốm đóng vai trò như một bức tường bảo vệ. Nếu không có lớp gốm này, nhiệt lượng sẽ truyền ngược trở lại các dây dẫn. Khi điều đó xảy ra, lớp cách nhiệt sẽ bị phá hủy, và bạn sẽ phải đối mặt với tình trạng máy móc ngừng hoạt động bất ngờ. Không ai muốn điều đó xảy ra cả.
Việc chuyển từ phương pháp sử dụng không khí nóng sang phương pháp sử dụng tia hồng ngoại không hề đơn giản. Bạn cần xử lý vấn đề về mật độ nhiệt cao. Nhiệt độ có thể tăng lên rất nhanh, nhưng điều này cũng gây áp lực lớn lên các linh kiện máy móc. Lớp gốm chính là yếu tố giúp giữ cho ống thạch anh được kín và duy trì sự ổn định của các điểm tiếp xúc điện, ngay cả khi nhiệt độ thay đổi liên tục.
Một điều cần lưu ý: vị trí lắp đặt rất quan trọng. Bạn cần đảm bảo rằng vị trí lắp đặt chính xác. Nếu các giá đỡ lắp đặt bị lệch một chút, bạn sẽ gặp phải tình trạng có những vùng lạnh trên wafer.
Lợi ích thực sự? Đó chính là thời gian.
Điều tuyệt vời nhất là bạn không còn phải chờ đợi nữa. Bạn không cần phải ngồi chờ cho buồng xử lý đạt đến nhiệt độ mong muốn. Chỉ cần kích hoạt bộ phát tia hồng ngoại, năng lượng sẽ được truyền ngay lập tức, và bạn có thể tiếp tục công việc của mình.
Điều này giúp tăng số lượng wafer được xử lý mỗi giờ. Tuy nhiên, bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của bạn có thể xử lý được lượng nhiệt phát ra từ vật thể cần xử lý. Nếu không, các cảm biến của bạn có thể bị hỏng.