
Trong quá trình nung, một sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng đủ để tạo ra những khiếm khuyết trong lớp phim quang học. Nếu quá trình nung không diễn ra đồng đều, bạn không chỉ lãng phí thời gian mà còn làm hỏng toàn bộ sản phẩm. Bộ phận gia nhiệt cần phải hoạt động liên tục, từ ca này sang ca khác, từ giờ này sang giờ khác.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi đã chế tạo chiếc đèn gia nhiệt bằng nước siêu tinh khiết, với khả năng phát ra ánh sáng hồng ngoại ngắn bước sóng. Chiếc đèn này được đặt trong vỏ bằng thạch anh, đảm bảo môi trường sạch theo tiêu chuẩn Class 1–100. Điều này giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, đồng thời loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi và khí có thể làm ô nhiễm lớp phim quang học. Mật độ năng lượng được điều chỉnh sao cho phản ứng nhiệt diễn ra nhanh chóng; do đó, nhiệt độ có thể được điều chỉnh ngay sau khi cửa mở hoặc đóng. Thân đèn sử dụng hệ thống tuần hoàn nước siêu tinh khiết để đảm bảo việc loại bỏ nhiệt hiệu quả, từ đó bảo vệ wafer và giúp duy trì độ ổn định của môi trường nung trong suốt quá trình sản xuất.
Tại sao nó lại hiệu quả trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn, tính ổn định là yếu tố quan trọng nhất. Chiếc đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong quá trình nung, từ đó giảm sự biến đổi về độ rộng của các đường nét trên wafer, qua đó nâng cao tỷ lệ sản phẩm tốt. Chiếc đèn này có thể hoạt động 24/7 mà không cần dừng máy, với tuổi thọ trên 5.000 giờ, và mức suy giảm hiệu suất dưới 5%. Điều này giúp giảm chi phí bảo trì và thời gian bảo trì. Mức tiêu thụ năng lượng được điều chỉnh sao cho phù hợp với nhu cầu nhiệt của quy trình, giúp giảm chi phí vận hành mà vẫn duy trì được sự kiểm soát chính xác về nhiệt độ.
Những điều cần lưu ý khi sử dụng Chiếc đèn này có kích thước nhỏ gọn và có các giao diện kết nối thông thường, nhưng nó vẫn cần hệ thống tuần hoàn nước siêu tinh khiết với độ kháng điện trở và khả năng kiểm soát hạt bụi tốt. Nếu sử dụng nước đã được khử ion ở nhiệt độ thấp hơn mức yêu cầu, có thể xảy ra hiện tượng hình thành bong bóng vi mô. Vì vậy, chúng tôi quy định mức dòng chảy và áp suất tối thiểu để đảm bảo độ ổn định nhiệt của vỏ đèn. Chỉ cần thiết lập hệ thống tuần hoàn một lần thôi, chiếc đèn sẽ hoạt động ổn định, không gây ra thêm những vấn đề về bảo trì.