停止给工具加热吧（改为直接给晶圆加热）
在为晶圆加热时，你希望所有的能量都作用于晶圆本身，而不是散逸到其他地方。标准红外灯的问题在于，它会把热量向各个方向散发，这样很麻烦。很快，昂贵设备的内壁就会变得过热，甚至可能烧伤操作人员，或者损坏那些价值不菲的敏感部件。
因此，我们采用定向加热的方式。
物理原理
可以把标准石英灯想象成一种能将光线投射到巨大半球区域的灯泡。为了解决这个问题，我们使用特殊的反射器和涂层，这些装置的作用就像漏斗一样，把红外能量集中起来，直接照射到晶圆上。由于光束很窄，所以几乎没有热量会散射到设备内壁。这样一来，晶圆就能达到所需的精确温度，而设备的其他部分则保持低温状态。这是一种更有效的加热方式。
找到最佳的距离
不能把高功率的灯直接贴在表面上。那样做会导致热量过度积累。这里需要找到一个平衡点：如果灯靠得太近，热量密度会过高，导致支架无法承受；但如果距离太远，则会浪费能量，降低效率。我们需要根据灯的功率以及晶圆的反射率来确定最佳距离。把灯移近一些，虽然可以使加热更快，但也会给冷却系统带来更大的负担。你需要权衡是追求更快的升温速度，还是让设备免受持续的热应力影响。
权衡取舍
当然，这并不是什么万灵药。这样做也有其代价。当你试图让光束更加集中时，你就放弃了“均匀加热”的优点，而选择了精确控制。如果对准偏差达到几毫米，那么晶圆上就会出现局部过热的情况，导致温度分布不均。这是一场精细的操作，因此技术人员必须格外注意安装精度，确保没有振动。一旦灯出现晃动，整个工艺就会失败。就是这么简单。