干燥MEMS晶圆：为何我们选择红外线加热 在处理MEMS传感器时，精度要求极高。必须将晶圆上的每一滴水分都去除，但若使用过强的热量，那些极其脆弱的微结构就可能会被破坏。 长期以来，人们一直使用热风来干燥晶圆。不过说实话，这种方法效率很低。我们现在转向红外线加热，因为没人愿意浪费大量时间等待晶圆干燥...

停止让墙壁发热：更有效的干燥方式 如果您曾接触过半导体干燥设备，那么您一定知道“墙壁过热”这个难题。当使用传统的对流式加热器或向四周释放热量的加热器时，机器的内壁就相当于一个巨大的吸热体。 这种情况很糟糕：操作人员需要担心被烫伤的问题，同时还得时刻担心过高的温度是否会导致内部部件变形。这既浪费能源...