http://warm-heater-corner-ir.com/cs/tags/odplyn%C4%9Bn%C3%AD/ Recent content in Odplynění on Cozy Corner Infrared Heating Hugo cs Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800 http://warm-heater-corner-ir.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-heater-corner-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Infraretní ohřívač na odplyňování waferů"></p> <p>V prostředí výroby může i malá změna teploty o půl stupně narušit rovnoměrnost aplikace fotorezistoru. Výrobní proces se tím zastaví a produktivita klesne. Vyvinuli jsme infračervené ohřívače určené k odplyňování waferů, aby se tato změna teploty vůbec neobjevila.</p> <p><strong>Co je důležité</strong><br> Tyto ohřívače jsou navrženy tak, aby <a href="https://o-yate.com">zajistily</a> rovnoměrnost teploty ±0,1 °C po celé ploše waferu. Díky rychlé regulaci se zabrání přehřátí fotorezistoru. Emitory využívají krátkovlnné infračervené záření k rychlému uvolňování energie v podobě pulsů. Komora je vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – během procesu odplyňování se tak zachovává nulový počet částic. Opakovatelnost teploty zůstává vysoká i v jednotlivých cyklech, takže kritické parametry procesu nekolísají v závislosti na změnách okolní teploty nebo složení materiálů.</p>