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		<title>MEMS on Cozy Corner Infrared Heating</title>
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		<description>Recent content in MEMS on Cozy Corner Infrared Heating</description>
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				<title>Trocknungsofen für MEMS Sensoren</title>
				<link>http://warm-heater-corner-ir.com/de/posts/reducing-cycle-times-in-mems-wafer-drying-infrared-vs-forced-hot-air/</link>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://warm-heater-corner-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;Trocknungsofen für MEMS Sensoren&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Trocknung von MEMS-Wafern: Warum wir auf Infrarot umsteigen&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;Bei der Arbeit mit MEMS-Sensoren sind die Anforderungen sehr hoch. Es muss jede letzte Feuchtigkeitsmenge beseitigt werden – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, können die winzigen, empfindlichen Mikrostrukturen beschädigt werden.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Lange Zeit haben wir &lt;a href=&#34;https://o-yate.net&#34;&gt;einfach&lt;/a&gt; heiße Luft verwendet, um die Wafern zu trocknen. Aber ehrlich gesagt: Das ist sehr langsam. Wir wechseln jetzt zum Infrarot-Heizen – schließlich will niemand die Hälfte seines Tages damit verbringen, darauf zu warten, dass die Wafern trocken werden.&lt;/p&gt;</description>
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