Heizgerät für AFM (Atomkraftmikroskop)

Wed, 01 Jul 2026 07:27:54 +0800

Im Bereich der Lithografie stellt ein HEATER, dessen Temperatur schwankt oder unregelmäßig ist, nicht nur ein Problem bei der Messung dar. Er stört außerdem die Kontrolle der thermischen Bedingungen und führt dazu, dass die Wafer als Wertlosware abgelehnt werden müssen. Wir haben unseren HEATER so konstruiert, wie es die Prozessingenieure wirklich benötigen: mit stabiler, wiederholbarer Temperatur direkt an der Sonde – und ohne Störungen im Reinraumumfeld.

Was technisch wichtig ist, ist das, was man messen kann. Der HEATER gewährleistet eine thermische Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C. Dadurch bleiben die Profile für die Weich- und Hartbrennprozesse konstant – unabhängig von den Durchläufen. Der HEATER eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und erzeugt keine Partikel. Das ist besonders wichtig, wenn es darum geht, die Qualität in sensiblen Prozessbereichen zu gewährleisten. Der HEATER ist für einen 24/7-Betrieb konzipiert – mit Zuverlässigkeitsdaten, die eine Ausfallzeit während des Produktionsprozesses ausschließen. Die Temperaturgenauigkeit bleibt hoch, sodass man keine Probleme mit Schwankungen hat, wenn man die Ausrüstung kalibriert.

Mikroskop) on Cozy Corner Infrared Heating

Heizgerät für AFM (Atomkraftmikroskop)