Quarzglas Schutzkappe für FAB Lampe

Thu, 18 Jun 2026 01:24:47 +0800

In den Fertigungsanlagen ist die Leistung des Fotolacks bei der Erhitzung unbestreitbar – sie wird in Nanometern gemessen. Eine Abweichung von 0,5 °C kann bereits dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen beeinträchtigt wird – und das bedeutet viele verlorene Wafer. Der Quarzglas-Schutz auf den Lampen dient dazu, solche Abweichungen bereits im Vorfeld zu verhindern.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden hochreinen Quarz für diesen Schutz, denn er gewährleistet eine stabile Lichtübertragung im Kurz- und Mittelwellenbereich des Infrarots. Zudem dehnt sich der Quarz nicht stark unter schnellen Temperaturwechseln aus. Dadurch lässt sich die Wafererhitzung wiederholgen – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C über das gesamte Belichtungsfeld hinweg. So bleiben die Parameter für die Weich- und Härterhitzung von Charge zu Charge konstant. In Reinräumen der Klasse 1–100 ist das Material sowie die Konstruktion des Schutzes so gestaltet, dass keine Partikel entstehen – dadurch bleiben Fehler auf den Wafern aus und es werden keine Probleme bei der Ausbeute berichtet.

Schild on Cozy Corner Infrared Heating

Quarzglas Schutzkappe für FAB Lampe