متوقف کردن ترسناکی آلودگی ویفرها
بیایید صادق باشیم: در تولید نیمههادیها، خراب شدن لامپهای مادون قرمز، فقط یک مشکل ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
وقتی که لوله کوارتز تحت فشار زیادی قرار میگیرد، مشکلات فقط محدود به توقف کاری نمیشود؛ بلکه تکههای شیشه و رشتههای تنگستن نیز مستقیماً روی ویفرها میافتند. این وضعیت میتواند در عرض چند ثانیه باعث از بین رفتن محصولات تولید شده شود.
دقیقاً به همین دلیل است که ما لامپهای خود را به این شکل طراحی میکنیم.
دلایل خراب شدن لامپها
در اکثر موارد، دلیل خرابی لامپها، شوک حرارتی یا وجود نقاط داغ در بخشهای مختلف لامپ است. برای مقابله با این مشکلات، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود نقطه نرم شدن لوله افزایش یابد و لوله بتواند در شرایط دمایی بالا نیز سالم بماند.
همچنین، ما توجه زیادی به طراحی رشتههای تنگستن نیز داریم؛ هدف این است که گرما به طور یکنواخت در سراسر لوله پخش شود، تا از ایجاد نواحی داغ در انتهای لوله جلوگیری شود.
جلوگیری از ورود ذرات به لوله
راز واقعی برای جلوگیری از مشکلات، استفاده از پوششهای محافظتی است؛ این پوششها مانند یک تور ایمنی عمل میکنند. اگر رشتههای داخلی لامپ خراب شوند، لایه بیرونی همه چیز را جذب میکند؛ در نتیجه هیچ ذره شیشهای روی سطح ویفرها باقی نمیماند.
همچنین، ما به الکترودها نیز توجه زیادی میکنیم؛ اگر الکترودها به درستی جفت نشوند، مشکلاتی در سیستم الکتریکی لامپ ایجاد میشود. این مشکلات میتوانند منجر به ایجاد ترکهای ریزی شوند؛ این ترکها در طول زمان بزرگتر میشوند و در نهایت لامپ خراب میشود. ما این نقاط تنش را کاملاً از بین میبریم.
معایب این روش
البته، استفاده از این پوششهای محافظتی باعث میشود لوله کوارتز ضخیمتر شود؛ این امر بر جابجایی گرما تأثیر میگذارد. شدت تابش گرما نیز کمی کاهش مییابد. البته این موضوع چندان مشکلساز نیست، اما شما باید تنظیمات PID را تغییر دهید و شاید مقدار توان لامپ را کمی افزایش دهید تا دمای سطح ویفر در حد مطلوب باقی بماند.
نکته آخر: به فنهای خنککننده لامپ نیز توجه کنید؛ اگر فنها به خوبی هوا را جابجا نکنند، گرما در اطراف انتهای لامپ تجمع میکند. در این صورت، حتی اگر کوارتز با کیفیت باشد، سیستم محافظتی لامپ خیلی زود از کار خواهد افتاد.