Pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge en vide est la solution idéale pour les semi-conducteurs sans plomb
Lorsque les gens parlent de passer à des produits « sans plomb » ou « écologiques » dans l’industrie des semi-conducteurs, ils se concentrent généralement sur les aspects chimiques. Mais ceux qui ont déjà travaillé sur place savent que le vrai problème, c’est la chaleur.
Les fours à convection traditionnels sont inefficaces : ils consomment beaucoup d’énergie pour chauffer une grande quantité d’air. Et soyons honnêtes : l’air n’est qu’un vecteur permettant aux poussières et aux particules de se déposer sur les wafer. Nous avons donc décidé d’éviter ce problème en éliminant complètement l’air. C’est pourquoi nous utilisons des chauffages par rayonnement infrarouge en vide.
Éliminer l’intermédiaire
Dans une chambre sous vide, il n’y a pas d’air pour transférer la chaleur. Pas de conduction, pas de convection. Seule la radiation joue un rôle. Les lampes infrarouges émettent des ondes électromagnétiques qui traversent directement le substrat et atteignent directement le matériau à chauffer. Il n’y a pas besoin d’attendre que l’élément chauffant réchauffe l’air, qui lui-même réchaufferait ensuite le matériau. C’est rapide. Vraiment rapide. Les temps de traitement diminuent, car l’énergie n’a pas besoin de traverser une couche d’air pour faire son travail.
Respecter les spécifications strictes
Les colles et les adhésifs sans plomb sont très exigeants en termes de température. Si vous sortez légèrement de la plage de température requise, cela peut entraîner de l’oxydation ou des déformations du matériau. C’est stressant.
Nous résolvons ce problème en ajustant la longueur d’onde des rayons infrarouges afin qu’elle corresponde exactement à ce dont le produit a besoin pour se solidifier. C’est comme une clé et une serrure : cela permet d’éviter tout excès de température. De plus, comme vous êtes en environnement sous vide, vous pouvez vous passer des solvants et des stabilisateurs chimiques. C’est un processus propre et sans risque.
Les défis techniques
Ce n’est pas tout à fait magique. Les systèmes à rayonnement infrarouge à haute intensité génèrent beaucoup de chaleur. Si vos systèmes de refroidissement ne suffisent pas, vous avez des problèmes. Si le système de refroidissement échoue, cette chaleur peut endommager les joints sous vide ou déformer toute la chambre. On ne peut pas simplement brancher ces équipements et espérer le meilleur ; il faut s’assurer que le système puisse effectivement évacuer cette chaleur.
Pour maintenir une température stable, nous recommandons l’utilisation d’un contrôleur PID à boucle fermée, accompagné de pyromètres. Cela permet de garder la surface du wafer entre ±1°C, ce qui vous permet de dormir tranquille, sachant que votre lot n’est pas endommagé.