Chauffage infrarouge à dégazage par wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:24:40 +0800

Dans l’atelier de fabrication, le moindre dépassement de température de même que demi-degré peut ruiner l’uniformité du photorésistant. La ligne de production s’arrête alors, et le taux de productivité diminue. Nous avons conçu des chauffeurs infrarouges pour éliminer ces écarts avant même qu’ils ne se manifestent.

Ce qui est important en réalité Nous concevons ces chauffeurs pour assurer une uniformité de température de ±0,1 °C sur toute la surface du plateau de chauffage, avec un contrôle rapide qui empêche tout excès de chaleur qui pourrait nuire au photorésistant. Les émetteurs utilisent des ondes infrarouges à courte longueur d’onde pour évacuer l’énergie en impulsions rapides et directes. La chambre de traitement est conforme aux normes de classe 1–100, ce qui permet de maintenir zéro concentration de particules pendant les processus de chauffage et de dégazage. La répétabilité de la température reste constante d’un cycle à l’autre, ce qui garantit que les paramètres critiques de traitement ne varient pas en fonction des fluctuations environnementales ou des variations entre les lots.

Dégas on Cozy Corner Infrared Heating

Chauffage infrarouge à dégazage par wafer